[發明專利]測試板及測試腔室

在審

• 申請號: 202010541666.3
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN112114207A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 羅閏成;盧鍾基;許成旭;孫昇杓
• 申請（專利權）人: 泰克元有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/04
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 習瑞恒;李盛泉

本發明涉及一種測試板及測試腔室，尤其涉及一種調節在測試電子部件使用的測試腔室所收容的電子部件的溫度的技術。根據本發明，通過引導部分、排出部分、連接部分構成用于向測試腔室的收容空間供應溫度調節用空氣的供應導管，在連接部分轉換溫度調節用空氣的移動方向，從而能夠實現按收容空間的各個位置均勻地供應空氣，并且在收容空間內以與測試板一對一相面對的狀態配備噴射溫度調節用空氣的噴射導管，從而能夠實現電子部件的緊密的溫度控制，進而提高測試的可靠性。

技術領域

本發明涉及一種能夠裝載電子部件而電連接到測試機的測試板和在收容該測試板后能夠調節與測試機電連接的電子部件的溫度的測試腔室。

背景技術

生產的電子部件通過測試機測試后分為良品和不良品，進而僅將良品出貨。

由于電子部件可以在多種環境下使用，因此當測試電子部件時需要保持創建惡劣的高溫的溫度環境的狀態。因此，采取將電子部件收容于可密封的測試腔室內的容納空間，并且通過使收容空間保持為惡劣的溫度環境，從而向電子部件施加熱應力的方式。當然，電子部件在位于收容空間的狀態下與測試機電連接。當然，由于惡劣的溫度環境不一定是高溫環境，也可能是低溫環境，并且日常的溫度環境可能是常溫，因此需要能夠針對各個情況進行測試的所有設備。

另外，測試機與電子部件的電連接距離越短越好。其原因在于，若測試機與電子部件的電連接距離較長，則可能會相應地發生電信號的失真或噪聲，不僅如此，還可能會丟失數據，因此難以確保測試的可靠性。

當然，即使測試機與電子部件之間的電連接距離較長也不會出現特別問題的測試會存在，但是也存在若測試機與電子部件之間的電連接距離較長則可能發生上述的問題且要求高速進行的測試。

例如，在進行測試時間很長的燒機測試(Burn In test)的情況下，即使測試機與電子部件之間的電連接距離較長，目前為止也沒有發生過特別問題。在此，燒機測試是指為了發現電子部件的潛在不良而在向電子部件施加高溫(85度至125度)的應力的狀態下進行的測試。其原因在于，在燒機測試工序中沒有進行過要求高速的測試，并且也沒有發生過進行的需要。

燒機測試不僅施加高溫，并且施加比電子部件的實際使用條件高的電壓、電流等電應力并長時間地進行。為了這樣的燒機測試，需要測試機、燒機板及燒機腔室。

燒機板作為能夠裝載多個電子部件而電連接到測試機的測試板的一種，具有用于將電子部件電連接到測試機的安置插座、電路及連接器。

燒機腔室作為測試腔室的一種，具有收容裝載有電子部件的測試板的收容空間，并且可以創建用于向收容于收容空間的電子部件施加熱應力的溫度環境。

圖1示出了收容于燒機腔室的燒機板BIB電連接于測試機TESTER的結構。

如參照圖1所示，為了將電子部件D電連接到測試機TESTER，需要配備安置插座S(參考圖2)的端子、電路EC、連接器C、連接部件CE(存在于穿過燒機腔室的壁面的路徑的連接部分)。即，用于將電子部件D連接于測試機TESTER的連接電路的距離較長，并且夾設有多個連接要素。因此，無法通過現有的燒機測試機執行若測試機TESTER與電子部件D之間的電連接距離較長則可能發生問題的測試或者需要快速且立即反應的測試。

例如，對存儲器半導體元件等電子部件而言，與過去不同地，追加了關于電子部件的測試項目，其不僅需要進行簡單的打開/關閉(ON/OFF)操作與否的水平的測試，而且還需要進行關于能夠以多快的速度讀取或存儲資料(例如，視頻等大容量數據)、能夠以多快的速度顯示于屏幕并能否正常操作的測試。并且，這些測試需要在很短的時間內進行，為此，電子部件與測試機之間的連接距離必須短。因此，除了燒機測試系統之外，需要其他額外的測試系統，這導致資源浪費、時間和人力的浪費。