[發(fā)明專利]一種定向凝固提純石英的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010541447.5 | 申請日: | 2020-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN111762789A | 公開(公告)日: | 2020-10-13 |
| 發(fā)明(設計)人: | 孟濤;季勇升 | 申請(專利權(quán))人: | 鎮(zhèn)江潤馳新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/12 | 分類號: | C01B33/12 |
| 代理公司: | 鎮(zhèn)江基德專利代理事務所(普通合伙) 32306 | 代理人: | 崔娟 |
| 地址: | 212200 江蘇省鎮(zhèn)江市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 定向 凝固 提純 石英 方法 | ||
1.一種定向凝固提純石英的方法,其特征在于,包括以下步驟:
①在石墨坩堝的內(nèi)壁上涂覆高純鎢粉,放入真空燒結(jié)爐中煅燒鎢涂層;
②在制備好鎢涂層的石墨坩堝里加入高純石英砂;
③在真空定向凝固爐中,先抽真空,再加熱融化石英砂,設定底加熱器為恒定功率,調(diào)節(jié)側(cè)加熱器的功率使爐內(nèi)溫度變化曲線為設定溫度曲線,依次經(jīng)過預熱、脫氣、融化、高溫排氣工藝,同時設定坩堝旋轉(zhuǎn);
④經(jīng)過高溫排氣后,降低主控溫度,調(diào)低底加熱器的功率,同時仍保持坩堝旋轉(zhuǎn);
⑤再次降低主控溫度,保持自下而上的石英定向凝固;
⑥通過觀察窗對坩堝的上表面進行觀察,待石英全部凝固后,關(guān)閉側(cè)加熱器,同時停止坩堝旋轉(zhuǎn),并進行冷卻;
⑦對成品石英的最后凝結(jié)部分進行檢驗,并切除不合格部分,以獲取合格的晶錠;
⑧對合格的晶錠依次進行破碎、粒選、酸洗和烘干,得到高純、低包裹體的方石英石英砂。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定向凝固提純石英的方法,其特征在于,步驟①中,真空燒結(jié)爐的煅燒參數(shù)為:最高溫度1800攝氏度,保溫1h。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定向凝固提純石英的方法,其特征在于,步驟②中,高純石英砂的參數(shù)為:粒徑150-30目,純度99.9%,Fe含量為20ppm,Na、k、li三者總含量為35ppm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定向凝固提純石英的方法,其特征在于,步驟③、④中,坩堝的旋轉(zhuǎn)方式為:旋轉(zhuǎn)速度為5rpm,且每5分鐘轉(zhuǎn)換一次旋轉(zhuǎn)方向。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定向凝固提純石英的方法,其特征在于,步驟⑤中,石英定向凝固的速度為5mm/h。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定向凝固提純石英的方法,其特征在于,步驟⑦中,對成品石英的檢驗標準為IOTA-STD標準。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定向凝固提純石英的方法,其特征在于,步驟③中,底加熱器的功率為100KW,步驟④中,底加熱器的功率的降速為10KW/Min。
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