[發明專利]一種基于玻璃基板的混合濾波器結構及其制備工藝在審
| 申請號： | 202010540845.5 | 申請日： | 2020-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN111585540A | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發明（設計）人： | 胡孝偉;代文亮;馬舉 | 申請（專利權）人： | 上海芯波電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/64 | 分類號： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 上海樂泓專利代理事務所(普通合伙) 31385 | 代理人： | 王瑞 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 玻璃 混合 濾波器 結構 及其 制備 工藝 | ||
1.一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：包括一級裸片(1)和堆疊于所述一級裸片(1)側面的二級裸片(2)和三級裸片(3)，所述一級裸片(1)包括玻璃基板、設置于玻璃基板上的玻璃半導體器件、設置于玻璃基板內的玻璃通孔(7)，所述二級裸片(2)和三級裸片(3)與所述一級裸片(1)靠近的側面設有若干個凸點(6)，若干個所述凸點(6)與玻璃半導體器件導通或與玻璃通孔(7)導通，所述二級裸片(2)包括表聲波濾波器SAW，該表聲波濾波器SAW為低通濾波器，所述三級裸片(3)包括體聲波濾波器，該體聲波濾波器為高通濾波器，所述表聲波濾波器SAW和體聲波濾波器BAW通過凸點(6)與玻璃半導體器件導通。
2.根據權利要求1所述的一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：所述一級裸片(1)的兩側面為側面一(11)和側面二(12)，所述側面一(11)和側面二(12)均設有鈍化層(8)。
3.根據權利要求1所述的一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：所述玻璃基板上堆疊有表聲波濾波器SAW和體聲波濾波器BAW。
4.根據權利要求2所述的一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：所述二級裸片(2)和三級裸片(3)均設置于側面一(11)或所述二級裸片(2)和三級裸片(3)均設置于側面二(12)。
5.根據權利要求2所述的一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：所述二級裸片(2)和三級裸片(3)分別堆疊于一級裸片(1)的側面一(11)和側面二(12)。
6.根據權利要求3所述的一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：所述聲學濾波器和所述玻璃半導體器件彼此疊置且相隔小于100um。
7.根據權利要求1-6任一項所述的一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：所述一級裸片(1)通過植球(5)與玻璃通孔TGV(7)和PCB載板(4)相連。
8.根據權利要求7所述的一種基于玻璃基板的混合濾波器結構，其特征在于：所述玻璃通孔(7)內填充有導電材料。
9.根據一種基于玻璃基板的混合濾波器的制備工藝，其特征在于：在玻璃基板中設置若干個玻璃通孔(7)，在所述玻璃基板的兩側面分別沉積多個跡線后覆蓋鈍化層(8)，多個跡線與若干個玻璃通孔(7)導通，在玻璃基板上堆疊聲學濾波器和玻璃半導體器件并與玻璃通孔(7)導通，在玻璃基板側面堆疊有表聲波濾波器SAW和體聲波濾波器BAW，表聲波濾波器SAW和體聲波濾波器BAW通過凸點(6)與玻璃半導體器件導通。
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