[發明專利]一種銦錫合金靶材及其制備方法

有效

• 申請號: 202010540058.0
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN111809152B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 黃宇彬;梁振耀;童培云;朱劉
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C22C13/00;B22C3/00;C22C28/00;B21B1/46;B21B37/16
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種銦錫合金靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）將金屬銦和金屬錫放入坩堝中，加熱熔化，攪拌至熔體成分均勻；

（2）將步驟（1）得到的熔體澆鑄成型，得到銦錫合金鑄錠；

（3）將步驟（2）得到的銦錫合金鑄錠進行軋制，得到銦錫合金坯；所述軋制的條件為：合金的厚度形變量≥20%;

（4）將步驟（3）得到的銦錫合金坯加工至比目標尺寸厚的粗靶坯，且粗靶坯的綁定面加工至光滑；

（5）將背板和步驟（4）得到的粗靶坯分別以低于所述粗靶坯臨界熔點的溫度進行加熱至80~150℃并保溫10 ~ 30 min，然后加壓以1~8 kg/cm²的夾緊力將背板與粗靶坯貼合夾緊并在1~2 h內逐步冷卻至室溫，綁定合格后，對粗靶坯進行加工，使其達到目標尺寸；所述綁定合格的標準為：綁定率大于95%，單點不超過1%。

2.如權利要求1所述的銦錫合金靶材的制備方法，其特征在于，步驟（1）中，所述熔化的溫度為150~250℃。

3.如權利要求1所述的銦錫合金靶材的制備方法，其特征在于，步驟（1）中，所述坩堝為不銹鋼坩堝，所述不銹鋼坩堝的開口直徑與高度之比為0.5~0.635。

4.如權利要求1所述的銦錫合金靶材的制備方法，其特征在于，步驟（1）中，所述金屬銦和金屬錫的純度分別為≥99.95%。

5.如權利要求1所述的銦錫合金靶材的制備方法，其特征在于，步驟（2）中，所述澆鑄成型的工藝為：將熔體注入內壁涂有脫模助劑的方形模具中，冷卻成型，制得銦錫合金鑄錠；所述銦錫合金鑄錠的厚度為40 ~ 60 mm；所述脫模助劑為氮化硼脫模劑，其通過噴涂的方式涂于80~85℃加熱的方形模具上。

6.如權利要求1所述的銦錫合金靶材的制備方法，其特征在于，步驟（4）中，所述粗靶坯比目標尺寸厚1~2 mm，所述粗靶坯的綁定面的粗糙度小于Ra1.6μm。

7.一種銦錫合金靶材，其特征在于，由如權利要求1~6任一項所述的銦錫合金靶材的制備方法制得。