[發明專利]光檢測設備和包括其的光學系統

在審

• 申請號: 202010539984.6
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN113156579A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 李銀京;崔秉龍;丘泰晙;黃同穆
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社;成均館大學校產學協力團
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/125;G02B6/12;G02F1/035;G02F1/01;G01S7/481
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳曉兵

提供了一種光檢測設備，包括：光輸入器件，被配置為接收光；多個波導，從光輸入器件延伸，所述多個波導被配置為分別傳輸由光輸入器件接收的光的多個部分；多個調制器，設置在所述多個波導上，并且被配置為分別調制在所述多個波導中傳輸的光的多個部分的相位；至少一個石墨烯層，被配置為吸收在所述多個波導中傳輸的光的多個部分；以及至少一個第一電極和至少一個第二電極，分別電連接至所述至少一個石墨烯層。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2020年1月7日在韓國知識產權局遞交的韓國專利申請No.10-2020-0002145的優先權，其公開內容通過引用整體并入本文。

技術領域

本公開的示例實施例涉及一種光檢測設備和包括該光檢測設備的光學系統。

背景技術

已經開發了通過在檢測距離內的物體或地形上反射電磁波來獲取信息并通過使用該信息來測量距離、位置和形狀的技術，并且作為該技術之一，光檢測和測距(LiDAR)系統正受到關注。

LiDAR系統包括用于將光轉向到期望位置的光轉向裝置、和用于檢測在從光轉向裝置發射之后從物體反射的光的光檢測設備。為了使光轉向，使用了一種使光照射部機械旋轉的方法、和一種通過使用光學相控陣(OPA)方法利用從多個單位單元或多個波導發射的光的干涉的方法。

發明內容

一個或多個示例實施例提供一種光檢測設備和包括該光檢測設備的光學系統。

附加方面部分地將在接下來的描述中闡述，且部分地將通過該描述而變得清楚明白，或者可以通過對本公開的示例實施例的實踐來獲知。

根據示例實施例的一方面，提供了一種光檢測設備，包括：光輸入器件，被配置為接收光；多個波導，從光輸入器件延伸，所述多個波導被配置為分別傳輸由光輸入器件接收的光的部分；多個調制器，設置在所述多個波導上，并且被配置為分別調制在所述多個波導中傳輸的光的部分的相位；至少一個石墨烯層，被配置為吸收在所述多個波導中傳輸的光的部分；以及至少一個第一電極和至少一個第二電極，分別電連接至所述至少一個石墨烯層。

所述至少一個石墨烯層可以設置在所述多個波導上。

所述光檢測設備還可以包括：中間層，設置在所述至少一個石墨烯層與所述多個波導之間，中間層包括折射率小于所述多個波導中的每一個波導的折射率的材料。

所述至少一個石墨烯層可以設置在所述多個波導的頂表面和側表面中的至少一個上。

所述至少一個石墨烯層可以包括與所述多個波導的全部相對應的石墨烯層。

所述至少一個石墨烯層可以包括分別與所述多個波導中的一些波導相對應的多個石墨烯層。

所述多個波導可以在所述多個波導中的每一個波導的一端處被集成到一個波導中，并且所述至少一個石墨烯層可以包括設置在所集成的波導上的石墨烯層。

所述光檢測設備還可以包括設置在所述至少一個石墨烯層上的柵極絕緣層和設置在柵極絕緣層上的柵電極。

光輸入器件可以包括：天線陣列，設置在所述多個波導的端部處并且被配置為從光檢測設備的外部接收光。

所述多個波導可以包括IV族半導體材料、III-V族半導體材料、II-VI族半導體材料、氧化物和氮化物中的至少一種。

所述多個調制器可以被配置為通過獨立地調制在所述多個波導中傳輸的光的每個部分的相位來形成相位分布。

所述多個調制器還可以被配置為基于將電信號或熱量施加到所述多個波導中的每一個波導來對相位進行調制。

光輸入器件、所述多個波導、所述多個調制器、所述至少一個石墨烯層以及所述至少一個第一電極和所述至少一個第二電極可以設置在同一基板上。