[發(fā)明專利]一種壓電結(jié)構(gòu)及壓電裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010536551.5
• 申請(qǐng)日: 2020-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN111682098B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段煉;張睿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 瑞聲聲學(xué)科技（深圳）有限公司
• 主分類號(hào): H01L41/047
• 分類號(hào): H01L41/047;B81B7/02
• 代理公司: 深圳市恒申知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44312
• 代理人: 任哲夫

本發(fā)明公開了一種壓電結(jié)構(gòu)及壓電裝置，其中，包括基底、設(shè)于所述基底表面的第一導(dǎo)電層以及與所述第一導(dǎo)電層間隔的第二導(dǎo)電層，還包括嵌設(shè)于所述基底的連接部，所述連接部用于電連接所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層。本發(fā)明通過(guò)將連接部嵌設(shè)于基底，并以連接部連接兩電極或電極與焊盤，解決了兩電極間或電極與焊盤間無(wú)法直接通過(guò)壓電薄膜表面的電極連接體電連接的問(wèn)題，提升了壓電式MEMS芯片的電氣連接的穩(wěn)定性及可靠性。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及壓電式MEMS芯片領(lǐng)域，尤其涉及壓電結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】

壓電式MEMS麥克風(fēng)應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣泛，對(duì)器件的可靠性要求也越來(lái)越高。壓電式MEMS麥克風(fēng)中的壓電MEMS的膜片層一般由單層或者多層壓電材料和電極材料組成。請(qǐng)參閱圖1及圖2，現(xiàn)有的壓電式MEMS麥克風(fēng)主要是典型的懸臂梁薄膜壓電式MEMS麥克風(fēng)，包括有效電極100、結(jié)構(gòu)電極200、壓電材料300及壓電薄膜的固定端400。

請(qǐng)參閱圖3，典型的壓電MEMS薄膜包括多組有效電極部，如圖中所示有效電極部A、B、C，有效電極部A、B、C分別包括多層電極以及夾設(shè)于電極之間的壓電材料，且各個(gè)有效電極部的對(duì)應(yīng)層的壓電材料一體設(shè)置。每個(gè)有效電極部的不同電極層之間以及各個(gè)有效電極部的電極之間通過(guò)電極連接體40電連接，并最終通過(guò)金線60將壓電信號(hào)輸出，具體的，每個(gè)有效電極部設(shè)有連通不同電極層的電極連接孔，電極連接體40的一部分設(shè)于電極連接孔的孔壁以電連接每個(gè)有效電極部不同層的電極，電極連接體的另一部分設(shè)于薄膜表面以電連接各個(gè)相鄰的有效電極部的電極。但，在某些情形下，為避免短路等風(fēng)險(xiǎn)，相鄰的有效電極部之間并不適于通過(guò)設(shè)于薄膜表面的電極連接體40電連接。另，在如圖4的情形下，焊接金線的焊盤與有效電極部的壓電材料相分離，焊盤與有效電極部的電極無(wú)法通過(guò)設(shè)置于薄膜表面的電極連接體導(dǎo)通。同樣，當(dāng)各個(gè)有效電極部及其壓電材料相分離設(shè)置時(shí)，各個(gè)有效電極部之間也無(wú)法通過(guò)設(shè)置于壓電材料表面的電極連接體40導(dǎo)通，以將有效電極收集到的信號(hào)傳遞到焊盤并通過(guò)金線60接出。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明的目的在于提供一種壓電結(jié)構(gòu)，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中，兩電極間或電極與焊盤間無(wú)法或不適宜直接通過(guò)壓電薄膜表面的電極連接體電連接的問(wèn)題。

本發(fā)明采用的第一個(gè)技術(shù)方案為：提供一種壓電結(jié)構(gòu)，包括基底、設(shè)于所述基底表面的第一導(dǎo)電層以及與所述第一導(dǎo)電層間隔的第二導(dǎo)電層，還包括嵌設(shè)于所述基底的連接部，所述連接部用于電連接所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層。

進(jìn)一步地，所述壓電結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述基底上方的第一電極部，所述第一電極部包括間隔且疊層設(shè)置的若干電極層，所述壓電結(jié)構(gòu)還包括設(shè)于所述第一電極部的各電極層之間的第一壓電材料部，所述第一導(dǎo)電層為所述第一電極部的靠近所述基底一側(cè)的電極層。

進(jìn)一步地，所述壓電結(jié)構(gòu)還包括與所述第一電極部間隔的第二電極部，所述第二電極部包括間隔且疊層設(shè)置的若干電極層，所述壓電結(jié)構(gòu)還包括設(shè)于所述第二電極部的各電極層之間的第二壓電材料部，所述第二導(dǎo)電層為所述第二電極部的靠近所述基底一側(cè)的電極層。

進(jìn)一步地，所述第一壓電材料部和所述第二壓電材料部間隔設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述第一壓電材料部和所述第二壓電材料部一體設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述壓電結(jié)構(gòu)還包括與所述第一電極部間隔的焊接部，所述第二導(dǎo)電層為所述焊接部的金屬層。

本發(fā)明采用的第二技術(shù)方案為：提供一種壓電裝置，包括上述的壓電結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的有益效果在于：通過(guò)嵌設(shè)于基底的連接部，可導(dǎo)通設(shè)于基底表面的電極或電極與焊盤，不僅解決了電極信號(hào)引出的問(wèn)題，同時(shí)能保證連接部連接的穩(wěn)定性，并大大減少外部器件對(duì)連接部的信號(hào)干擾，提升信號(hào)傳輸?shù)挠行约翱煽啃浴?/p>

【附圖說(shuō)明】

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中典型的具有懸臂梁薄膜的壓電式薄膜結(jié)構(gòu)俯視圖；