[發(fā)明專利]柔性電子器件的曲面轉(zhuǎn)印裝置和曲面轉(zhuǎn)印方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010534781.8
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN111559164B
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設計）人: 馮雪;陳星也;陳穎
• 申請（專利權）人: 清華大學;浙江清華柔性電子技術研究院
• 主分類號: B41F16/00
• 分類號: B41F16/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種柔性電子器件的曲面轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，其包括推拉部和按壓部，所述推拉部和/或所述按壓部能夠移動，所述按壓部包括支架(3)和彈性膜(4)，所述支架(3)具有空腔(31)，所述彈性膜(4)套設于所述支架(3)且覆蓋所述空腔(31)的一個開口，所述推拉部對準所述開口；

所述推拉部用于安裝曲面零件(5)，所述彈性膜(4)的覆蓋所述開口的部分的朝向所述推拉部的表面用于安裝柔性電子器件(6)，所述曲面零件(5)能夠在所述推拉部的帶動下朝向和遠離所述空腔(31)移動而進出所述空腔(31)和/或所述按壓部能夠朝向和遠離所述推拉部移動而使所述曲面零件(5)進出所述空腔(31)，所述曲面零件(5)進入所述空腔(31)時使所述彈性膜(4)變形而將所述柔性電子器件(6)按壓至所述曲面零件(5)。

2.根據(jù)權利要求1所述的柔性電子器件的曲面轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，所述曲面轉(zhuǎn)印裝置包括致動部，所述致動部驅(qū)動所述彈性膜(4)變形至包裹所述曲面零件(5)，從而所述彈性膜(4)受所述致動部驅(qū)動而將所述柔性電子器件(6)的尚未受按壓的部分按壓至所述曲面零件(5)。

3.根據(jù)權利要求2所述的柔性電子器件的曲面轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，所述曲面轉(zhuǎn)印裝置包括蓋體(22)，所述彈性膜(4)在變形過程中始終套設于所述支架(3)，所述蓋體(22)用于在所述推拉部相對于所述支架(3)移動后蓋住所述空腔(31)的所述開口且將所述彈性膜(4)壓緊至所述支架(3)，所述致動部包括氣口(24)和密封腔，所述密封腔由所述彈性膜(4)的位于所述空腔(31)內(nèi)的部分和所述蓋體(22)形成，所述氣口(24)設于所述推拉部且位于所述密封腔內(nèi)。

4.根據(jù)權利要求3所述的柔性電子器件的曲面轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，所述蓋體(22)連接于所述推拉部，所述蓋體(22)隨所述推拉部一同移動。

5.根據(jù)權利要求3所述的柔性電子器件的曲面轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，所述推拉部包括桿體(21)，所述桿體(21)的一端用于安裝所述曲面零件(5)，所述氣口(24)靠近所述桿體(21)的所述一端設置，所述桿體(21)的內(nèi)部具有吸氣氣路，所述吸氣氣路連通于所述氣口(24)。

6.根據(jù)權利要求1所述的柔性電子器件的曲面轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，所述推拉部安裝有真空吸盤組件，所述真空吸盤組件包括真空吸盤(23)和吸盤氣路，所述真空吸盤(23)用于吸取所述曲面零件(5)，所述吸盤氣路設于所述推拉部內(nèi)且連通于所述真空吸盤(23)以使所述真空吸盤(23)具有真空區(qū)。

7.一種曲面轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，所述曲面轉(zhuǎn)印方法采用根據(jù)權利要求1、2或6中任一項所述的曲面轉(zhuǎn)印裝置，所述曲面轉(zhuǎn)印方法包括以下步驟：

安裝步驟：將所述曲面零件(5)安裝于所述推拉部，以及將所述柔性電子器件(6)安裝于所述彈性膜(4)的朝向所述推拉部的表面；

預處理步驟：使所述曲面零件(5)的表面具有粘性；

推步驟：通過使所述推拉部和所述支架(3)相互靠近而由所述推拉部將所述曲面零件(5)推入所述空腔(31)以使所述柔性電子器件(6)的至少一部分被按壓至所述曲面零件(5)；

拉步驟：通過使所述推拉部和所述支架(3)相互遠離而將貼合有所述柔性電子器件(6)的所述曲面零件(5)從所述空腔(31)取出。

8.根據(jù)權利要求7所述的曲面轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，在所述安裝步驟中，將所述柔性電子器件(6)放置于所述彈性膜(4)的朝向所述推拉部的表面。

9.根據(jù)權利要求7所述的曲面轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，在所述安裝步驟中，將所述柔性電子器件(6)與臨時襯底(7)的結合體安裝于所述彈性膜(4)，在所述拉步驟后實施：

拆卸步驟：將所述曲面零件(5)和所述柔性電子器件(6)從所述推拉部卸下；

后處理步驟：從所述曲面零件(5)和所述柔性電子器件(6)去除所述臨時襯底(7)。

10.一種曲面轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，所述曲面轉(zhuǎn)印方法采用根據(jù)權利要求3至5中任一項所述的曲面轉(zhuǎn)印裝置，所述曲面轉(zhuǎn)印方法包括以下步驟：

安裝步驟：將所述曲面零件(5)安裝于所述推拉部，以及將所述柔性電子器件(6)安裝于所述彈性膜(4)的朝向所述推拉部的表面；

預處理步驟：使所述曲面零件(5)的表面具有粘性；

推步驟：通過使所述推拉部和所述支架(3)相互靠近而由所述推拉部將所述曲面零件(5)推入所述空腔(31)，所述彈性膜(4)變形并將所述柔性電子器件(6)的位于所述曲面零件(5)的前進方向的至少正前方的部分按壓至所述曲面零件(5)；

吸步驟：通過所述氣口(24)抽吸所述密封腔內(nèi)的氣體以使所述彈性膜(4)變形而包裹所述曲面零件(5)；

拉步驟：通過使所述推拉部和所述支架(3)相互遠離而將貼合有所述柔性電子器件(6)的所述曲面零件(5)從所述空腔(31)取出。