[發明專利]MgO-TiO燒結體靶及其制造方法在審
| 申請號： | 202010534063.0 | 申請日： | 2014-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN111792919A | 公開（公告）日： | 2020-10-20 |
| 發明（設計）人： | 高見英生;中村祐一郎;荒川篤俊;荻野真一 | 申請（專利權）人： | 捷客斯金屬株式會社 |
| 主分類號： | C04B35/04 | 分類號： | C04B35/04;C04B35/46;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mgo tio 燒結 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種MgO-TiO燒結體，其含有25～90摩爾％TiO，其余包含MgO和不可避免的雜質。
2.如權利要求1所述的MgO-TiO燒結體，其特征在于，相對密度為95％以上。
3.如權利要求1或2所述的MgO-TiO燒結體，其特征在于，體電阻率為10Ω·cm以下。
4.如權利要求1～3中任一項所述的MgO-TiO燒結體，其特征在于，存在TiO相和MgO相兩相，并且該MgO相的最長直徑為50μm以上的區域為10個以下/1mm2。
5.一種MgO-TiO燒結體的制造方法，其為制造在MgO中含有10摩爾％以上且90摩爾％以下TiO的濺射用燒結體的方法，其特征在于，
將包含平均粒徑為10μm以下的MgO粉末和平均粒徑為50μm以下的TiO粉末的原料粉混合，并將混合后的原料粉在1250～1450℃的溫度、200kgf/cm2以上的加壓壓力下熱壓，從而制作MgO-TiO燒結體。
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