[發明專利]一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝

在審

• 申請號: 202010532919.0
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN112299420A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 鄭維江;戴文偉;林霞;胡滿根;鄭智雄
• 申請（專利權）人: 將樂三晶新材料有限公司
• 主分類號: C01B33/021
• 分類號: C01B33/021
• 代理公司: 深圳市創富知識產權代理有限公司 44367
• 代理人: 尹麗華

1.一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述工藝包括：

步驟S1、將第一氣源以及金屬硅粉原材通過氣管連接等離子火焰槍的進氣口；所述等離子火焰槍包括所述進氣口、出氣噴嘴、設置于所述進氣口與所述出氣噴嘴之間的第一腔室、設置于所述出氣噴嘴上的陽極、與所述陰極相對設置的陽極；

步驟S2、向所述等離子火焰槍的所述陽極以及所述陰極通入電源；

步驟S3、待所述等離子火焰槍噴射出等離子體，采集由所述出氣噴嘴噴灑出的球形金屬硅粉。

2.如權利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述工藝還包括：

步驟S4、實時采集設置于所述等離子火焰槍下方的收集槽內的所述球形金屬硅粉的顯微鏡圖像；所述收集槽為透明材質，所述收集槽背部設置有用于采集所述顯微鏡圖像的顯微鏡；

步驟S5、識別所述顯微鏡圖像中的所述球形金屬硅粉的形狀；響應于所述球形金屬硅粉未完全融合而呈球形，則增大所述等離子火焰槍的功率。

3.如權利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述等離子火焰槍設置于第一收集室的室內，所述出氣噴嘴的朝向為豎直向上，所述第一收集室的底部設置有收集槽。

4.如權利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述陰極以及所述陽極分別設置于所述第一腔室的兩側。

5.如利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述第一氣源與所述進氣口之間還連接有第一單向閥，所述第一單向閥的氣流流動方向為從所述第一氣源流至所述進氣口。

6.如權利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述金屬硅粉原材與所述進氣口之間還連接有第二單向閥，所述第二單向閥的流動方向為所述金屬硅粉原材流至所述進氣口。

7.如權利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述金屬硅粉原材的顆粒直徑小于100微米。

8.如權利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述等離子火焰槍的噴嘴與所述收集槽的槽內底部之間的距離大于0.8米。

9.如權利要求1所述的一種等離子火焰槍制備球形金屬硅粉工藝，其特征在于，所述金屬硅粉原材所在的第一氣管接設在所述第一氣源所在的第二氣管的支路上，所述第一氣源通氣時，虹吸帶動所述金屬硅粉原材進入所述第一腔室內。