[發明專利]高性能光刻膠用酚醛樹脂及其制備方法和用途在審
| 申請號： | 202010532710.4 | 申請日： | 2020-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN111607050A | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 王步泉 | 申請（專利權）人： | 南通千翼新材料有限公司 |
| 主分類號： | C08G8/24 | 分類號： | C08G8/24;C08G8/12;C08G8/08;G03F7/004 |
| 代理公司： | 南通市永通專利事務所(普通合伙) 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226000 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 性能 光刻 酚醛樹脂 及其 制備 方法 用途 | ||
【權利要求書】：
1.一種高性能光刻膠用酚醛樹脂，其特征是：所述酚醛樹脂主要由以下重量份的原料組分制成：
甲酚 70-90重量份
甲醛 15-20重量份
催化劑 0.2-1重量份。
2.根據權利要求1所述的高性能光刻膠用酚醛樹脂，其特征是：所述甲酚選自間甲酚、對甲酚、鄰甲酚一種或多種。
3.根據權利要求1所述的高性能光刻膠用酚醛樹脂，其特征是：所述甲醛為37%甲醛、92%多聚甲醛、96%多聚甲醛中的一種或多種。
4.根據權利要求1所述的高性能光刻膠用酚醛樹脂，其特征是：所述催化劑為硫酸、磷酸、草酸中的一種或多種。
5.一種權利要求1所述的高性能光刻膠用酚醛樹脂的制備方法，其特征是：包括如下步驟：原料計量、加熱反應、脫水、脫酚，冷卻造粒。
6.根據權利要求5所述的高性能光刻膠用酚醛樹脂的制備方法，其特征是：脫水是在100-155℃條件下進行；脫酚是在155-190℃條件下進行。
7.一種權利要求1所述的高性能光刻膠用酚醛樹脂在制備高性能光刻膠中的應用。
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