[發明專利]砷化鎵拋光液自動循環過濾方法及其對應的過濾裝置

在審

• 申請號: 202010529604.0
• 申請日: 2020-06-11
• 公開（公告）號: CN111544946A
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 易德福
• 申請（專利權）人: 江西德義半導體科技有限公司
• 主分類號: B01D35/00
• 分類號: B01D35/00;B01D35/14
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 杜丹盛

本發明提供了砷化鎵拋光液自動循環過濾方法，其使得拋光藥液通過自循環過濾，從而解決拋光過程中拋光液中的顆粒劃傷晶片問題。拋光藥液在拋光設備使用前，在供藥管道進入設備后安裝拋光藥液自循環裝置，將管道中結晶顆粒機靜態濾芯反向端的結晶進行再次過濾，將靜態的藥液改變為動態實時過濾，避免析出顆粒結晶使得藥液中顆粒增加。

技術領域

本發明涉及砷化鎵拋光液處理的技術領域，具體為砷化鎵拋光液自動循環過濾方法，本發明還提供了砷化鎵拋光液自動循環過濾裝置。

背景技術

目前，市場上銷售及使用的拋光機供藥液系統均由配藥供液，由于管道過長藥液在流動循環時容易帶顆粒在藥液中，因此大部分拋光管道進設備會裝濾芯進行過濾，由于設備保養等原因出現停機時，藥液處于靜止狀態，砷化鎵拋光藥液容易與空氣中的氧發生化學反應，產生白色結晶，該結晶不僅僅存在濾芯的前端也會出現在反向位置，在進行拋光時顆粒隨拋光液流入拋光設備導致晶片出現劃傷現象。

發明內容

針對上述問題，本發明提供了砷化鎵拋光液自動循環過濾方法，其使得拋光藥液通過自循環過濾，從而解決拋光過程中拋光液中的顆粒劃傷晶片問題。

砷化鎵拋光液自動循環過濾方法，其特征在于：拋光藥液在拋光設備使用前，在供藥管道進入設備后安裝拋光藥液自循環裝置，將管道中結晶顆粒機靜態濾芯反向端的結晶進行再次過濾，將靜態的藥液改變為動態實時過濾，避免析出顆粒結晶使得藥液中顆粒增加。

其進一步特征在于：拋光機的供藥接口處斷開，安裝拋光藥液自循環過濾裝置，將過濾循環系統的進液管連接在外部的進藥管處，將出液管口連接在設備進液的管口上，在進液管安裝相應的過濾濾芯，在循環濾罐安裝更細一級的過濾濾芯，開啟管道藥液液位計監測藥液桶內的液面高度，并將傳感器與隔膜泵進行連接控制，通過隔膜泵將循環桶中藥液抽出并在濾芯出過濾輸入循環藥液溢流桶中，通過溢流的方式保持藥液的循環流動，需要進行拋光液供給時、開啟出液管上的蠕動泵將干凈的藥液進行供給給拋光機的進藥管。

砷化鎵拋光液自動循環過濾裝置，其特征在于：其包括藥液桶，所述藥液桶的上端蓋裝有頂蓋，所述頂蓋上預設有管路插孔、溢流桶安裝接口，所述溢流桶安裝接口下凸部分固裝有循環藥液溢流桶，所述循環藥液溢流桶上設置有旁通溢流孔連通所述藥液桶的內腔，所述藥液桶的內腔內盛放有砷化鎵拋光液，進液管上安裝藥管過濾罐芯后通過管路貫穿對應的管路插孔后連通至所述藥液桶的內腔，其還包括有循環管，所述循環管的一端內插于藥液桶的內腔的底部區域，所述循環管的一部分外露于所述藥液桶后、其另一端置于所述循環藥液溢流桶的內腔，出液管的進液部分位于所述循環藥液溢流桶的內腔，所述出液管的出液部分安裝蠕動泵后連接至拋光機的進藥管。

其進一步特征在于：

所述藥液桶內還排布有若干冷凝管，確保藥液桶內的砷化鎵拋光液的溫度達到拋光要求；

所述循環管的外露于所述藥液桶的部分設置沿著流向分別設置有隔膜泵、循環濾芯，所述循環濾芯的過濾精度優于所述藥管過濾罐芯的過濾精度，其進一步將更細的結晶過濾；

所述藥液桶內還設置有液位計，所述液位計沿著藥液桶的高度方向布置；

所述液位計的反饋端通過連接線外接至隔膜泵，液位計監測到液面達到預設高度后、開啟隔膜泵；

所述循環管的一端貫穿對應的管路插孔后內插于藥液桶的內腔的底部區域；

所述循環管的一端、進液管對應的管路插孔上蓋裝有端蓋連接頭，端蓋連接頭確保循環管、進液管對應于頂蓋位置的封裝連接，確保不會漏氣漏液；

所述循環管的另一端、出液管分別通過溢流桶安裝接口安裝于所述循環藥液溢流桶的旁通溢流孔的下方位置區域，所述溢流桶安裝接口的上凸表面蓋裝有封裝蓋，所述封裝該確保循環管、出液管對應于溢流桶安裝接口的位置的封裝連接，確保不會漏氣漏液。