[發(fā)明專利]一種智能車庫防腐蝕膜層及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010529481.0
• 申請日: 2020-06-11
• 公開（公告）號: CN111826614B
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃超;王春雷;陳長明;閻娟;黃仲佳;吳路路;孫宇峰;王剛
• 申請（專利權(quán)）人: 宣城市華菱精工科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/06
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 張玉紅

1.一種智能車庫防腐蝕膜層的制備方法，其特征在于，所述智能車庫防腐蝕膜層包括至少一層氮化物保護膜層，所述氮化物保護膜層均包括氮化釩組成的底層、氮化釩鋁混合化合物組成的中間層和硼 化鉻組成的第三層；

所述智能車庫防腐蝕膜層制備方法的步驟為，

S1：采用多弧真空蒸發(fā)沉積設(shè)備，其3個靶位分別安裝1個鋁靶、1個釩靶和一個硼化鉻靶，對3重靶刻蝕清洗；

S2：開啟釩靶工作狀態(tài)，設(shè)備中充氮氣，沉積得氮化釩過渡層；

S3：同時開啟釩靶和鋁靶工作狀態(tài)，通高純氮氣流量，沉積得氮化釩鋁混合化合物層即氮化釩鋁混合化合物組成的中間層；

S4：關(guān)閉釩靶和鋁靶的工作狀態(tài)，開啟硼化鉻靶的工作狀態(tài)，沉積得膨化鉻層即第三層；

S2、S3和S4循環(huán)交替沉積氮化釩層、氮化釩鋁混合化合物層和硼 化鉻層不少于3層，最后一層為硼 化鉻層；

S2中，開啟釩靶工作狀態(tài)時，工藝條件設(shè)置為電流60 A~75A，偏壓為-50V ~-55V，沉積時間為6-8 min；

S3中，同時開啟釩靶和鋁靶工作狀態(tài)時，電流分別為60A~75A和30~45A，通高純氮氣流量為350 sccm，沉積時間為沉積5-7 min；

S4中，關(guān)閉釩靶和鋁靶的工作狀態(tài)，開啟硼化鉻靶的工作狀態(tài)時，工藝條件設(shè)置為電流40 A~55A，偏壓為-50 V~-55 V，沉積時間為8-10 min。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能車庫防腐蝕膜層的制備方法，其特征在于，所述鋁靶、釩靶和硼化鉻靶分別在負偏壓-900 V，-1100V和-1200V下刻蝕清洗2 min，消除表面氧化膜及雜質(zhì)。