[發(fā)明專利]背板及蒸鍍機(jī)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010529262.2 | 申請(qǐng)日: | 2020-06-11 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN111519140A | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-08-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳海濤 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 昆山國(guó)顯光電有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C14/04 | 分類號(hào): | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 李小波;劉芳 |
| 地址: | 215300 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 背板 蒸鍍機(jī) | ||
本發(fā)明提供一種背板及蒸鍍機(jī),背板包括背板本體,所述背板本體上設(shè)有多個(gè)安裝部,至少部分所述安裝部?jī)?nèi)可拆卸的設(shè)置有配重塊。本發(fā)明的背板,由于在背板本體上設(shè)置了多個(gè)安裝部,安裝部?jī)?nèi)可拆卸的設(shè)置有配重塊,在實(shí)際使用時(shí),可以根據(jù)背板本體表面的變形情況,調(diào)整配重塊的分布,在變形量較大的地方施加質(zhì)量較重的配重塊,在變形量較小的地方施加質(zhì)量較輕的配重塊或不加配重塊,從而調(diào)整整個(gè)背板本體上的壓力分布情況,降低局部變形而造成的壓力不均現(xiàn)象,從而保證蒸鍍機(jī)具有穩(wěn)定的生產(chǎn)良率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種背板及蒸鍍機(jī)。
背景技術(shù)
蒸鍍工藝是OLED(Organic Light Emitting Diode)顯示屏生產(chǎn)過(guò)程中難度最高的環(huán)節(jié)之一,蒸鍍機(jī)的部件對(duì)蒸鍍工藝品質(zhì)有很大影響。在蒸鍍機(jī)中,背板是蒸鍍機(jī)對(duì)位系統(tǒng)中的一個(gè)重要部件,背板的主要作用是在蒸鍍過(guò)程中給基板施加一定的壓力,使基板與掩膜板貼合緊密,防止顯示屏不良的產(chǎn)生。但是,現(xiàn)有技術(shù)中的背板長(zhǎng)時(shí)間使用后容易局部變形,從而影響了生產(chǎn)良率。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種背板及蒸鍍機(jī)以解決上述缺陷。本發(fā)明的背板能夠降低長(zhǎng)時(shí)間使用后局部變形的概率,從而保證蒸鍍機(jī)具有穩(wěn)定的生產(chǎn)良率。
本發(fā)明一實(shí)施例提供一種背板,包括背板本體,所述背板本體上設(shè)有多個(gè)安裝部,至少部分所述安裝部?jī)?nèi)可拆卸的設(shè)置有配重塊。
如上所述的背板,可選地,所述安裝部包括設(shè)置在所述背板本體上的凹槽、通孔或環(huán)形槽。
當(dāng)安裝部采用凹槽的結(jié)構(gòu)時(shí),凹槽可以設(shè)置在背板本體在使用狀態(tài)下遠(yuǎn)離待壓基板的一側(cè),也即背板本體的非工作面上,從而便于工作人員在背板本體上安裝或拆卸配重塊,提高作業(yè)效率。當(dāng)安裝部采用通孔結(jié)構(gòu)時(shí),通孔沿背板厚度方向貫穿背板本體,此時(shí)插入配重塊后,配重塊可直接與待壓基板的表面接觸,從而調(diào)整背板本體局部變形而造成的壓力不均現(xiàn)象。
如上所述的背板,可選地,所述通孔為階梯孔,所述配重塊包括底座和設(shè)置在所述底座上的凸起,所述凸起可插入所述階梯孔的小徑段內(nèi),所述底座可插入所述階梯孔的大徑段且搭接在所述階梯孔的小徑段的端面上。
通過(guò)上述結(jié)構(gòu),配重塊的重量可通過(guò)底座與階梯孔的小徑段的端面之間的搭接連接關(guān)系而均勻的分布到配重塊兩側(cè)的背板本體上,從而調(diào)整背板本體局部的壓力分布情況,降低背板本體局部變形而造成的壓力不均現(xiàn)象,使得待壓基板更好的與掩膜板貼合。
如上所述的背板,可選地,所述安裝部的內(nèi)表面設(shè)有滑槽,所述配重塊可滑動(dòng)的設(shè)置在所述安裝部?jī)?nèi)。
將配重塊采用滑動(dòng)連接的方式設(shè)置在安裝部?jī)?nèi),可以方便配重塊的拆卸,降低配重塊的更換時(shí)間,提高作業(yè)效率。
如上所述的背板,可選地,多個(gè)所述安裝部構(gòu)成至少一個(gè)環(huán)形結(jié)構(gòu),所述環(huán)形結(jié)構(gòu)與所述背板本體同心設(shè)置。
此種設(shè)置方式可有利于對(duì)背板本體進(jìn)行調(diào)節(jié),降低背板本體局部變形而造成的壓力不均現(xiàn)象。
如上所述的背板,可選地,多個(gè)所述安裝部構(gòu)成數(shù)個(gè)形狀相似、大小不同的同心環(huán)形結(jié)構(gòu),相鄰的兩個(gè)所述環(huán)形結(jié)構(gòu)之間的間隔距離相等。
在背板本體上均勻設(shè)置安裝部可以便于對(duì)背板本體任意位置局部變形量的調(diào)整,配重塊插入安裝部后,配重塊對(duì)背板本體的壓力均勻分散在背板本體的局部變形位置四周,從而調(diào)整了整個(gè)背板本體上的壓力分布情況,降低局部變形而造成的壓力不均現(xiàn)象。
如上所述的背板,可選地,多個(gè)所述安裝部構(gòu)成數(shù)個(gè)形狀相似、大小不同的同心環(huán)形結(jié)構(gòu),在沿所述背板本體的中心到所述背板本體的邊緣方向上,相鄰的兩個(gè)環(huán)形結(jié)構(gòu)之間的間隔距離逐漸減小。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





