[發(fā)明專利]感測器裝置及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010528635.4
• 申請日: 2020-06-11
• 公開（公告）號: CN112614858A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝馨儀
• 申請（專利權(quán)）人: 采鈺科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;閆華

1.一種感測器裝置，包括：

至少一感測器單元，其包括：

至少一感測器元件；

一中間層，設(shè)置于該至少一感測器元件上；

一鈍化層，設(shè)置于該中間層上；

一微透鏡結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該鈍化層上；

一開口，設(shè)置于該微透鏡結(jié)構(gòu)中；以及

一第一反射層，設(shè)置于該微透鏡結(jié)構(gòu)上，其中該第一反射層從該開口延伸至該鈍化層。

2.如權(quán)利要求1所述的感測器裝置，其中該第一反射層從該開口的一側(cè)壁延伸至該鈍化層的一頂表面，且該第一反射層的材料對散發(fā)光具有高反射的特性。

3.如權(quán)利要求1所述的感測器裝置，其中該微透鏡結(jié)構(gòu)于剖面中具有一半圓、半橢圓、三角形、長方形或使該微透鏡結(jié)構(gòu)反射光線朝向該至少一感測器元件的其他形狀。

4.如權(quán)利要求1所述的感測器裝置，其中該微透鏡結(jié)構(gòu)產(chǎn)生一平行光線或具有對應(yīng)至一個感測器元件的一單一焦點、對應(yīng)至兩個感測器元件的兩個焦點，或?qū)?yīng)至三或四個感測器元件的多個焦點。

5.如權(quán)利要求1所述的感測器裝置，其中該至少一感測器單元還包括一第二反射層，其設(shè)置于該中間層與該微透鏡結(jié)構(gòu)之間，其中該開口與該第二反射層重疊，且其中該第二反射層的材料對激發(fā)光具有高反射的特性。

6.如權(quán)利要求5所述的感測器裝置，其中該至少一感測器單元還包括一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，其設(shè)置于該第二反射層之上，且其中該開口與該波導(dǎo)結(jié)構(gòu)重疊。

7.如權(quán)利要求1所述的感測器裝置，其中該中間層包括一濾層、一鈍化材料、一金屬層或前述的組合。

8.如權(quán)利要求7所述的感測器裝置，其中該濾層被該金屬層所環(huán)繞，且其中該濾層包括一單一濾層、一像素化濾層、一斥拒濾層或前述的組合。

9.如權(quán)利要求1所述的感測器裝置，其中該開口包括一反應(yīng)區(qū)，且該反應(yīng)區(qū)對應(yīng)至該至少一感測器元件，且其中該反應(yīng)區(qū)對應(yīng)至一、二、三或四個感測器元件。

10.一種感測器裝置的制造方法，包括：

提供一基板，其包括至少一感測器元件；

于該至少一感測器元件上形成一中間層；

于該中間層上形成一鈍化層；

于該鈍化層上形成一微透鏡結(jié)構(gòu)；

于該微透鏡結(jié)構(gòu)上順應(yīng)地形成一第一反射層；以及

移除該第一反射層的一部分與該微透鏡結(jié)構(gòu)的一部分，并于該微透鏡結(jié)構(gòu)中形成一開口，其中該第一反射層從該開口延伸至該鈍化層。

11.如權(quán)利要求10所述的感測器裝置的制造方法，還包括在形成該鈍化層的步驟前，于該中間層上形成一第二反射層，以及于該第一反射層上形成一平坦化層。

12.如權(quán)利要求11所述的感測器裝置的制造方法，還包括在形成該微透鏡結(jié)構(gòu)的步驟前，于該鈍化層上形成一波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。

13.如權(quán)利要求12所述的感測器裝置的工藝方法，還包括圖案化該第二反射層以形成一孔洞。