[發明專利]模擬方法、模擬裝置、存儲介質、膜形成方法和生產固化產物的方法

在審

• 申請號: 202010528111.5
• 申請日: 2020-06-11
• 公開（公告）號: CN112068398A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 淺野俊哉;關淳一;大口雄一郎
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G06F30/20
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 楊小明

1.一種在使布置在第一構件和第二構件中的一個上的可固化成分的多個液滴與第一構件和第二構件中的另一個接觸并在第一構件上形成可固化成分的膜的過程中預測可固化成分的行為的模擬方法，所述方法包括：

通過連接所述多個液滴的兩個相鄰代表點來生成鏈接；

生成作為由多個鏈接形成的閉合區域的單胞；以及

基于對應于形成單胞的各鏈接的液滴的合并的存在/不存在，確定是否在單胞中形成了氣泡。

2.根據權利要求1所述的方法，還包括：對于形成單胞的各鏈接，如果形成鏈接的液滴沒有彼此合并，則將鏈接確定為開放鏈接，并且如果形成鏈接的液滴彼此合并，則將鏈接確定為閉合鏈接，

其中，在確定是否在單胞中形成了氣泡時，如果由多個相鄰的閉合鏈接形成閉合區域，則確定在包含于閉合區域中的所有單胞中形成了氣泡。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，在確定是否在單胞中形成了氣泡時，如果生成連接關于開放鏈接相互面對的單胞的代表點的圖形并且圖形沒有連接到預先已知與環境連通的環境連通單胞，則確定在形成圖形的多個單胞中形成了氣泡。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，生成鏈接包括：

通過將放置在關注的液滴的代表點上的節點連接到距該節點預先確定的搜索距離內的區域中的各節點，生成鏈接，以及

刪除通過在改變關注的液滴的同時重復生成鏈接所生成的各交叉鏈接對中的較長的鏈接。

5.根據權利要求1所述的方法，還包括：如果單胞具有鈍角三角形形狀，則將該單胞與鈍角頂點的相對側的相鄰單胞合并。

6.根據權利要求1所述的方法，還包括計算各液滴隨著所述多個液滴和第二構件之間的接觸的進展而擴展的行為，

其中，在所述計算之后執行是否在單胞中形成了氣泡的確定。

7.根據權利要求1所述的方法，還包括計算氣泡的氣體分子的數量，

其中，所計算的氣體分子的數量被用作用于確定氣泡缺陷的存在/不存在的指標。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，

氣體分子的數量被計算為與氣泡中的氣體的壓力和氣泡的體積的乘積成比例的量，以及

所述氣體的壓力是基于經由液滴不相互合并的開放鏈接發生的單胞之間的氣體的流動計算的。

9.根據權利要求1所述的方法，還包括：在存儲器中存儲在形成氣泡之前在第一構件、第二構件和可固化成分中的氣體的溶解量，

其中，在確定是否在單胞中形成了氣泡時，所述溶解量被用作用于確定氣泡缺陷的存在/不存在的指標。

10.一種存儲用于使計算機執行在權利要求1～9中的任一項中限定的模擬方法的程序的計算機可讀存儲介質。

11.一種用于在使布置在第一構件和第二構件中的一個上的可固化成分的多個液滴與第一構件和第二構件中的另一個接觸并在第一構件上形成可固化成分的膜的過程中預測可固化成分的行為的模擬裝置，其中，所述裝置：

通過連接所述多個液滴的兩個相鄰代表點來生成鏈接；

生成作為由多個鏈接形成的閉合區域的單胞；以及

基于對應于形成單胞的各鏈接的液滴的合并的存在/不存在，確定是否在單胞中形成了氣泡。

12.一種膜形成方法，所述膜形成方法在由膜形成裝置提供的膜形成條件下使布置在第一構件和第二構件中的一個上的可固化成分的多個液滴與第一構件和第二構件中的另一個接觸并在第一構件上形成可固化成分的膜，所述方法包含：

使用根據權利要求1到9中任一項所述的模擬方法來預測在模擬的膜形成條件下可固化成分的行為；以及

設置要由膜形成裝置提供以抑制在要形成的膜中出現氣泡的膜形成條件。

13.一種生產固化產物的方法，包含：

使用用于形成可固化成分的膜的根據權利要求12的膜形成方法；以及

使可固化成分固化。