[發(fā)明專利]一種反射式樣品形貌測量裝置及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010526234.5 | 申請日： | 2020-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN111982020A | 公開（公告）日： | 2020-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊光華;王丹;齊月靜;宗明成;李璟;盧增雄;孟璐璐;折昌美 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01B11/25 | 分類號： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 反射 式樣 形貌 測量 裝置 方法 | ||
1.一種反射式樣品形貌測量裝置，其特征在于，所述裝置包括：
順次設(shè)置的照明組件(101)、投影標(biāo)記組件(102)、投影光學(xué)組件(103)、探測光學(xué)組件(104)、探測標(biāo)記組件(105)、和數(shù)據(jù)采集組件(106)；并在所述投影光學(xué)組件(103)和所述探測光學(xué)組件(104)之間的光路上設(shè)置待測樣品(107)；
其中，所述投影光學(xué)組件(103)和所述探測光學(xué)組件(104)中均包括凹球面反射鏡、凸球面反射鏡和平面反射鏡；
所述照明組件(101)對投影標(biāo)記組件(102)進(jìn)行照射，投影光學(xué)組件(103)將投影標(biāo)記組件(102)的像成像到待測樣品(107)表面，探測光學(xué)組件(104)將攜帶待測樣品形貌信息的投影標(biāo)記組件(102)的像成像到探測標(biāo)記組件(105)上，通過數(shù)據(jù)采集組件(106)得到待測樣品的形貌信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述投影光學(xué)組件(103)包括：第一平面反射鏡(103-3)、第一凹球面反射鏡(103-1)、第一凸球面反射鏡(103-2)和第二平面反射鏡(103-4)；
其中，第一凹球面反射鏡(103-1)和第一凸球面反射鏡(103-2)的球心重合，在第一凸球面反射鏡(103-2)上，且第一凹球面反射鏡(103-1)的焦面設(shè)置孔徑光闌；
投影標(biāo)記組件(102)的像依次經(jīng)過第一平面反射鏡(103-3)、第一凹球面反射鏡(103-1)、第一凸球面反射鏡(103-2)、第一凹球面反射鏡(103-1)、和第二平面反射鏡(103-4)反射后成像到待測樣品(107)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述探測光學(xué)組件(104)包括：第三平面反射鏡(104-3)、第二凹球面反射鏡(104-1)、第二凸球面反射鏡(104-2)和第四平面反射鏡(104-4)；
其中，第二凹球面反射鏡(104-1)和第二凸球面反射鏡(104-2)的球心重合，在第二凸球面反射鏡(104-2)上，且第二凹球面反射鏡(104-1)的焦面設(shè)置孔徑光闌；
攜帶待測樣品形貌信息的投影標(biāo)記組件(102)的像依次經(jīng)過第三平面反射鏡(104-3)、第二凹球面反射鏡(104-1)、第二凸球面反射鏡(104-2)、第二凹球面反射鏡(104-1)、和第四平面反射鏡(104-4)反射后成像到探測標(biāo)記組件(105)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述投影標(biāo)記組件(102)與第一平面反射鏡(103-3)之間的距離為110mm，第一平面反射鏡(103-3)與第一凹球面反射鏡(103-1)之間的距離為273.423mm，第一凹球面反射鏡(103-1)和第一凸球面反射鏡(103-2)之間光束傳輸距離為190.965mm，第一凹球面反射鏡(103-1)與第二平面反射鏡(103-4)之間的距離為283.421mm，第二平面反射鏡(103-4)與待測樣品(107)表面的距離為100mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述第一凹球面反射鏡(103-1)的半徑為383.534mm，第一凸球面反射鏡(103-2)的半徑為192.683mm；第一凹球面反射鏡(103-1)的半通光孔徑為60mm，第一凸球面反射鏡(103-2)的半通光孔徑為15mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述待測樣品(107)表面與第三平面反射鏡(104-3)之間的距離為100mm，第三平面反射鏡(104-3)與第二凹球面反射鏡(104-1)之間的距離為283.421mm，第二凹球面反射鏡(104-1)和第二凸球面反射鏡(104-2)之間光束傳輸距離為190.965mm，第二凹球面反射鏡(104-1)與第四平面反射鏡(104-4)之間的距離為273.423mm，第四平面反射鏡(104-4)與探測標(biāo)記組件(105)之間的距離為110mm。
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