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[發明專利]一種硅微六桿增力機構在審

專利信息
申請號: 202010525568.0 申請日: 2020-06-10
公開(公告)號: CN111486207A 公開(公告)日: 2020-08-04
發明(設計)人: 王振祿;張九娥;馬淑霞;同長虹;董麗梅 申請(專利權)人: 蘭州城市學院
主分類號: F16H21/10 分類號: F16H21/10;F16C11/12
代理公司: 北京中仟知識產權代理事務所(普通合伙) 11825 代理人: 田江飛
地址: 730070 甘*** 國省代碼: 甘肅;62
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅微六桿增力 機構
【權利要求書】:

1.一種硅微六桿增力機構,其特征在于,包括:第一固定錨點和第二固定錨點;

原動搖桿,所述原動搖桿通過軟性鉸鏈鉸接于第一固定錨點的頂部;

第一連桿,所述連桿通過軟性鉸鏈鉸接于所述原動搖桿表面的一側;

從動搖桿,所述從動搖桿通過鉸鏈鉸接于所述連桿的端部,所述從動搖桿的一端通過軟性鉸鏈與所述第二固定錨點的頂部鉸接;

第二連桿,所述第二連桿通過軟性鉸鏈鉸接于所述從動搖桿的一側;

輸出桿,所述輸出桿通過軟性鉸鏈鉸接于所述第二連桿的一端,所述輸出桿的表面設置有縱向約束副。

2.根據權利要求1所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述軟性鉸鏈可以為弧形軟性鉸鏈或者短臂柔性鉸鏈。

3.根據權利要求1所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述硅微六桿增力機構設置于所述硅基板的氮化層上,所述氮化層上設置有固定結構層,所述固定結構層上固定結構層a構成原動搖桿、第一連桿、從動搖桿、第二連桿和輸出桿。

4.根據權利要求3所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述所述固定結構層上的固定結構層b構成縱向約束副,所述固定結構層上的固定結構層a、固定結構層b、多晶硅層和金屬層構成第一固定錨點和第二固定錨點。

5.根據權利要求1所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述縱向約束副包括減阻限位件和固定部,所述減阻限位件固定于固定部的頂部。

6.根據權利要求5所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述減阻限位件包括支撐環,所述支撐環的一端螺紋連接有限位環,所述支撐環的端部開設有多個放置槽,所述放置槽的內部設置有滾珠。

7.根據權利要求6所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述支撐環的端部且位于放置槽的外部固定連接有連接環,所述連接環的表面設置有外螺紋,所述限位環內表面的一側設置有擋環,所述擋環與限位環內表面之間形成安裝腔。

8.根據權利要求7所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述限位環內表面的周側面設置有與外螺紋相適配的內螺紋。

9.根據權利要求8所述的一種硅微六桿增力機構,其特征在于:所述限位環的表面設置有撥動齒,所述限位環的孔徑與所述支撐環的孔徑相同。

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