[發明專利]一種邁克爾遜干涉儀測量裝置及其測量方法

在審

• 申請號: 202010524630.4
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111665620A
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 劉士旭
• 申請（專利權）人: 伊普希龍（天津）科技有限公司
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G02B7/182;G09B23/22;G01B9/02;G01B11/02;G01B5/02
• 代理公司: 天津市新天方專利代理有限責任公司 12104
• 代理人: 張強

1.一種邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，包括底座(21)、試驗臺(1)和數顯卡尺(19)，試驗臺(1)通過支撐柱(23)固定在底座(21)的上表面上，底座(21)的下表面四個頂角處開設有螺紋槽孔，每個螺紋槽孔內均螺紋連接有調平螺釘(22)，試驗臺(1)的上表面開設有軌道安裝槽(8)，軌道安裝槽(8)內沿垂直于試驗臺(1)前側壁的方向固定兩平行軌道(12)，兩平行軌道(12)上滑動跨接有滑動塊(10)，滑動塊(10)上固定有M2平面鏡(11)，試驗臺(1)后部依次設置有分束鏡(2)、補償鏡和M1平面鏡(7)，M1平面鏡(7)與M2平面鏡(11)垂直設置，分束鏡(2)的后方通過支架設置觀察屏(3)，軌道安裝槽(8)內在兩平行軌道(12)兩端連接的側壁間轉動連接有絲杠(9)，且絲杠(9)的一端從軌道安裝槽(8)側壁貫穿，并穿出試驗臺(1)的前側壁在端頭依次連接有齒輪(17)和調節手輪(16)，在軌道安裝槽(8)內的絲杠(9)上套接絲母，絲母的頂部與滑動塊(10)底部固定連接，試驗臺(1)前側壁上齒輪(17)的下方固定有齒條安裝板(13)，齒條安裝板(13)上開設有齒條滑槽(14)，齒條滑槽(14)內滑動連接有齒條(15)，齒條(15)與齒輪(17)轉至底部的齒牙嚙合，試驗臺(1)前側壁上固定有測量齒條(15)運動距離的數顯卡尺(19)。

2.根據權利要求1所述的邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，所述的調平螺釘(22)的底部固定有防滑膠墊。

3.根據權利要求1所述的邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，所述的試驗臺(1)前側壁上齒條安裝板(13)的上方固定有卡尺固定板(20)，卡尺固定板(20)上固定測量頭朝下數顯卡尺(19)。

4.根據權利要求3所述的邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，所述的數顯卡尺(19)的可移動測量頭(18)與齒條(15)的右端頭貼合連接。

5.根據權利要求1所述的邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，所述的齒輪(17)的直徑大于調節手輪(16)的直徑，齒輪(17)的齒距為絲杠(9)的螺距2倍，齒條(15)移動距離為滑動塊(10)移動距離的2倍，絲杠(9)為零間隙的2mm導程的高精度滾珠絲杠。

6.根據權利要求1所述的邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，所述的分束鏡(2)的一個表面鍍有半發射金屬膜。

7.根據權利要求1所述的邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，所述的補償鏡包括補償鏡A(4)和補償鏡B(6)，補償鏡A(4)和補償鏡B(6)通過定位軸(5)固定在試驗臺(1)上。

8.根據權利要求7所述的邁克爾遜干涉儀測量裝置，其特征在于，所述的補償鏡A(4)與補償鏡B(6)之間呈90°角設置，且補償鏡A(4)和補償鏡B(6)均與M2平面鏡(11)間呈45°角設置。

9.一種邁克爾遜干涉儀裝置的測量方法，其特征在于，其測量步驟為：

a.單色光源照射分束鏡2，旋擰調節手輪16使絲杠9轉動，帶動軌道12上連接的滑動塊10移動，使得滑動塊10上的M2平面鏡11在絲杠9的作用下產生位移，直至調出干涉條紋，絲杠9轉動的同時齒輪17也發生轉動，與齒輪17嚙合的齒條15發生位移，并由數顯卡尺19直接測得位移量為S1；

b.計算M2平面鏡11移動距離，齒輪的齒數為n，M2平面鏡的移動距離為S＝S1/2n。