[發明專利]一種連續自潔凈玻璃基板生長設備

有效

• 申請號: 202010524070.2
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111807714B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 孔令杰;李曉麗
• 申請（專利權）人: 合肥百思新材料研究院有限公司
• 主分類號: C03C17/22
• 分類號: C03C17/22;C23C16/26;C23C16/56;C23C16/54
• 代理公司: 合肥正則元起專利代理事務所(普通合伙) 34160
• 代理人: 韓立峰

1.一種連續自潔凈玻璃基板生長設備，其特征在于，包括進料收料過渡艙機構、氣缸推動機構、石英管(29)、第一加熱爐(13)、第二加熱爐(14)、設備框架(35)；

石英管(29)呈圓柱狀且固定設置在設備框架(35)上，進料收料過渡艙機構包括放料艙(3)、收料艙(20)、石英管(29)，氣缸推動機構包括第一氣缸(1)、第一推桿(2)、第二氣缸(8)、第二推桿(9)、第三氣缸(15)、第三推桿(16)；

石英管(29)的兩端底部通過支撐架與設備框架(35)固定連接；石英管(29)的一端壁部通過法蘭與放料艙(3)連通，法蘭連接處設有第一插板閥(7)，放料艙(3)的端部設有第一氣缸(1)，第一氣缸(1)與伸入放料艙(3)腔體的第一推桿(2)連接，第一氣缸(1)用于驅動第一推桿(2)而將插板舟(11)推動至石英管(29)管口位置；石英管(29)的另一端壁部通過法蘭與收料艙(20)連通，法蘭連接處設有第二插板閥(18)；

石英管(29)上靠近放料艙(3)的水平端部設有與石英管(29)連通的進料艙(10)，進料艙(10)的端部設有第二氣缸(8)，第二氣缸(8)連接有伸入石英管(29)腔體的第二推桿(9)，第二氣缸(8)用于驅動第二推桿(9)而將插板舟(11)推動至石英管(29)腔體內；石英管(29)上與收料艙(20)相對的壁部設有第三氣缸(15)，第三氣缸(15)連接有伸入石英管(29)腔體的第三推桿(16)，第三氣缸(15)用于推動第三推桿(16)而將插板舟(11)推動至收料艙(20)內；

石英管(29)的腔體底部水平設置有供插板舟(11)移動的石墨平臺(24)，第一加熱爐(13)設置于靠近放料艙(3)的石英管(29)外圍，第一加熱爐(13)位于石英管(29)的外圍設有加熱溫場；第二加熱爐(14)設置于靠近收料艙(20)的石英管(29)外圍，第二加熱爐(14)位于石英管(29)的外圍設有加熱溫場；

所述石英管(29)靠近第一加熱爐(13)的頂部設有壓力表(30)和第二進氣口(31)，石英管(29)靠近第二加熱爐(14)的頂部設有第一進氣口(26)和第三真空抽口(25)。

2.根據權利要求1所述的連續自潔凈玻璃基板生長設備，其特征在于，所述放料艙(3)壁部位于第一插板閥(7)兩側的位置連接有第一平衡管路(6)，收料艙(20)壁部位于第二插板閥(18)兩側的位置連接有第二平衡管路(22)。

3.根據權利要求1所述的連續自潔凈玻璃基板生長設備，其特征在于，所述放料艙(3)上遠離石英管(29)的一側設有放料艙門(5)，靠近石英管(29)的一側設有第一真空抽口(4)。

4.根據權利要求1所述的連續自潔凈玻璃基板生長設備，其特征在于，所述收料艙(20)上遠離石英管(29)的一側設有第二真空抽口(19)，靠近石英管(29)的一側設有收料艙門(21)。

5.根據權利要求1所述的連續自潔凈玻璃基板生長設備，其特征在于，所述石英管(29)上位于第一加熱爐(13)與第二加熱爐(14)之間的頂部設有排氣口(27)，底部設有第四真空抽口(28)。

6.根據權利要求1所述的連續自潔凈玻璃基板生長設備，其特征在于，設備框架(35)內設有機械泵(23)；石英管(29)上靠近收料艙(20)的水平端部設有觀察窗(17)。