[發(fā)明專利]一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010522203.2 | 申請日： | 2020-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN111613496B | 公開（公告）日： | 2022-12-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 樊鶴紅;杜航;包正強;孫小菡 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué);南京三樂集團有限公司 |
| 主分類號： | H01J1/14 | 分類號： | H01J1/14;H01J1/20;H01J9/04 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 金詩琦 |
| 地址： | 211102 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 石墨 烯覆膜鋇鎢 陰極 及其 制備 方法 | ||
1.一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極，其特征在于：包括石墨烯層（1）和B型鋇鎢陰極層（2），所述B型鋇鎢陰極層（2）的上表面覆石墨烯層（1），所述B型鋇鎢陰極層（2）置于支撐筒（3）內(nèi)，所述支撐筒（3）內(nèi)的B型鋇鎢陰極層（2）下設(shè)置燈絲；所述石墨烯層（1）為單層或雙層石墨烯；
所述石墨烯覆膜鋇鎢陰極（6）在1080K工作溫度條件下，陰陽極間距1~2mm、電壓160V時，未飽和發(fā)射電流密度實測值已達0.235A/cm2，功函數(shù)不大于1.9eV。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極，其特征在于：還包括柵極（4），所述柵極（4）與石墨烯層（1）之間通過絕緣介質(zhì)層（5）或真空進行隔離。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極，其特征在于：所述柵極（4）為環(huán)形或網(wǎng)狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極，其特征在于：用于熱-光綜合發(fā)射真空電子器件中作為電子源時，陽極（7）采用網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，使石墨烯覆膜鋇鎢陰極（6）激勵光可以從陽極（7）背面入射石墨烯覆膜鋇鎢陰極（6）。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極，其特征在于：用于熱-光綜合發(fā)射真空電子器件中作為電子源時，石墨烯覆膜鋇鎢陰極（6）激勵光采用短于690納米的波長。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極的制備方法，其特征在于包括以下步驟：
（1）制備B型鋇鎢陰極層（2）；
（2）在襯底生長石墨烯層（1）一側(cè)覆TRT，然后通過腐蝕溶液腐蝕，去除襯底保留TRT上的石墨烯層（1），將覆有石墨烯層（1）的TRT在去離子水中清洗，烘干；
（3）在溫控臺上放置步驟（2）所得石墨烯層（1）/TRT膜，B型鋇鎢陰極層（2）倒置其上，控制溫控臺溫度達到TRT熱剝離溫度，TRT失去粘性，再將B型鋇鎢陰極層（2）取開，石墨烯層（1）即附著在B型鋇鎢陰極層（2）表面，得到石墨烯覆膜鋇鎢陰極（6）。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種石墨烯覆膜鋇鎢陰極的制備方法，其特征在于：所述腐蝕溶液為FeCl3溶液。
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