[發明專利]用于MES的建模數據驗證的建模輔助系統和方法

在審

• 申請號: 202010521370.5
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111782493A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 陸燕花;朱燕萍
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G06F11/34
• 分類號: G06F11/34
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 郭四華

本發明公開了一種用于MES的建模數據驗證的建模輔助系統，包括：數據導入模塊，用于將需要驗證的所有待校驗表單的數據整合在一起并形成整合數據；數據校驗模塊，用于對整合數據進行校驗，當校驗錯誤時形成對應的錯誤信息；數據導出模塊，用于將校驗過的數據以及對應的錯誤信息輸出。本發明還公開了一種用于MES的建模數據驗證的建模輔助方法。本發明能對建模數據進行自動以及全面的校驗，能提高校驗速度和數據正確性，提高工作效率。

技術領域

本發明涉及半導體集成電路制造領域，特別是涉及一種用于MES的建模數據驗證的建模輔助系統。本發明還涉及一種用于MES的建模數據驗證的建模輔助方法。

背景技術

在半導體集成電路制造工廠的生產線上，通常是采用制造執行系統(Manufacturing Execution System，MES)進行工藝流程控制。當生產的產品不同時，工藝流程也會不同。不同的產品，需要在MES中建立對應的工藝流程模型，在實際生產過程中，產品的實際工藝流程會通過所建立的模型進行控制。故當生產線上要上新產品時或者需要對已經存在的產品工藝流程進行修改時，則需要進行相應的建模。

在建模過程中，首先需要進行工藝流程的表單導入，表單中包括了工藝流程中的各種數據。目前工廠中新建一條完整的工藝流程需要18張表單，在數據導入前基本記錄(Basic Record，BR)工程師需要進行大量的數據校驗，由于數據是通過EXCEL進行導入，所以對數據的校驗必須特別嚴格，由于建模系統對部分數據暫時無法驗證，以至于必須通過人為檢查數據的準確性，這樣往往導致花費很多的人力，尤其隨著生產的擴大和工程部門相關工藝流程數據處理需求的增加，更加會影響到整個團隊的工作效率。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種用于MES的建模數據驗證的建模輔助系統，能對建模數據進行自動以及全面的校驗，能提高校驗速度和數據正確性，提高工作效率。為此，本發明還提供一種用于MES的建模數據驗證的建模輔助方法。

為解決上述技術問題，本發明提供的用于MES的建模數據驗證的建模輔助系統包括：

數據導入模塊，用于將需要驗證的所有待校驗表單的數據整合在一起并形成整合數據。

數據校驗模塊，用于對所述整合數據進行校驗，當校驗錯誤時形成對應的錯誤信息。

數據導出模塊，用于將校驗過的數據以及對應的所述錯誤信息輸出。

進一步的改進是，還包括：數據模板選擇模塊，用于選擇數據模板。

數據模板驗證模塊，用于驗證所述數據模板，當所述數據模板驗證錯誤時結束數據驗證，當所述數據模板驗證正確時顯示所述整合數據并將所述整合數據輸入到所述數據校驗模塊進行校驗。

進一步的改進是，還包括：文件拆分模塊，用于在所述數據校驗模塊校驗成功時，對校驗過的所述整合數據進行拆分并形成拆分表單，校驗成功時沒有所述錯誤信息。

進一步的改進是，校驗成功時，所述數據導出模塊導出所述拆分表單，所述拆分表單用于導入到建模系統進行建模。

進一步的改進是，當存在所述錯誤信息時，所述數據導出模塊導出所述整合數據和所述錯誤信息并供工程師進行修改。

進一步的改進是，需要驗證的所有待校驗表單為一個工藝流程對應的所有表單。

進一步的改進是，所述數據導入模塊通過EXCEL導入所述待校驗表單的數據。

進一步的改進是，所述拆分表單的數據通過EXCEL導入到建模系統。

進一步的改進是，所述數據校驗模塊的校驗內容包括所有BR作業規范和手動檢查數據的流程。

為解決上述技術問題，本發明提供的用于MES的建模數據驗證的建模輔助方法包括如下步驟：