[發(fā)明專(zhuān)利]一種鎳鉻鋁釔硅合金靶材的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010517407.7
• 申請(qǐng)日: 2020-06-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111719127A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃宇彬;朱劉;童培云;何坤鵬;錢(qián)增杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34;C22C1/03;C22C19/05;C22F1/10;B22D13/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種鎳鉻鋁釔硅合金靶材的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

S1：將鎳和鉻混合一同置于第一真空熔煉爐內(nèi)的坩堝里熔煉得到鎳鉻中間合金熔液；

S2：將鋁和釔混合一同置于第二真空熔煉爐內(nèi)的坩堝里熔煉得到鋁釔中間合金熔液；

S3：將所述鎳鉻中間合金熔液、鋁釔中間合金熔液和硅混合一同置于第三真空熔煉爐內(nèi)的坩堝里熔煉得到鎳鉻鋁釔硅合金熔液；

S4：將所述鎳鉻鋁釔硅合金熔融液體置于石墨模具中進(jìn)行離心澆鑄后得到鎳鉻鋁釔硅合金靶材鑄錠；

S5：將所述鎳鉻鋁釔硅合金靶材鑄錠依次進(jìn)行退火、去氧化、機(jī)加工后，得到鎳鉻鋁釔硅合金靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S1中，鎳和鉻混合的質(zhì)量比為3：1至5：1。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S1中，熔煉加熱的溫度為1700～1750℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中，鋁和釔混合的質(zhì)量比為10：1至20：1。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中，熔煉加熱的溫度為800～1200℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S3中，鎳鉻中間合金熔液、鋁釔中間合金熔液和硅三者混合的質(zhì)量比為6：1：0.02至6.9：1：0.06。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S3中，熔煉加熱的溫度為1550～1700℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述離心澆鑄過(guò)程中保持石墨模具沿其自身軸心旋轉(zhuǎn)40～60圈/分鐘，并施加2000～4000次/分鐘的振動(dòng)，使熔融液體在旋轉(zhuǎn)的模具中緩慢冷卻成型。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述坩堝的材料為氧化鎂、氧化鋁或氧化鋯中的一種。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述去氧化與機(jī)加工之間還包括將鎳鉻鋁釔硅合金進(jìn)行水浸式超聲波掃描的步驟。