[發明專利]寬譜段中階梯光柵單色器的裝調方法

有效

• 申請號: 202010515342.2
• 申請日: 2020-06-09
• 公開（公告）號: CN111596466B
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發明（設計）人: 朱繼偉;楊晉;孫慈;馬婷婷
• 申請（專利權）人: 長春長光格瑞光電技術有限公司
• 主分類號: G02B27/62
• 分類號: G02B27/62;G01J3/02;G01J3/12
• 代理公司: 吉林省長春市新時代專利商標代理有限公司 22204
• 代理人: 邱宇

1.一種寬譜段中階梯光柵單色器的裝調方法：其特征在于：該方法包括以下步驟：

步驟S1：將針孔組件安裝到機械外殼上的設計位置，所述針孔組件包括與機械外殼相互連接的真空密封圈、緊密連接在真空密封圈內的氟化鈣針孔以及緊密貼合氟化鈣針孔的星點孔壓盤，所述星點壓盤固定安裝在機械外殼上；

步驟S2：以激光器作為調試光源，將激光器安置在針孔組件的前端設置于機械外殼的外部，利用針孔組件將激光器出射的光束經過針孔組件入射至機械外殼內部；

為了保證激光器出射的光束自準直的通過針孔組件后入射至機械外殼內部，利用氟化鈣針孔內表面具有的反射激光器出射光束的作用，觀測是否有激光器出射的光束經氟化鈣針孔反射出機械外殼外部，如果出現反射光則進行激光器的滾轉角度和俯仰角度的調試至反射光束與出射光完全重合，保證了激光器出射的光束無俯仰、無傾斜的通過針孔組件后入射至機械外殼內部；

步驟S3：將前端鏡筒組件和準直鏡組件安裝到機械外殼內部的設計位置，所述前端鏡筒組件包括鏡筒和鏡筒支架，所述準直鏡組件包括準直鏡、準直鏡架，使進入機械外殼內部的激光光束穿出鏡筒后無俯仰、無傾斜的入射至準直鏡上；

為了降低前端鏡筒組件和準直鏡組件的安裝誤差，首先將準直鏡架固定在機械外殼內，在準直鏡前端設置有開設靶標小孔的靶標板，調整前端鏡筒組件保證激光光束完全穿出鏡筒，并且穿出鏡筒的激光光束與準直鏡前端的靶標小孔完全重合后入射至準直鏡上，固定鏡筒組件，移除準直鏡前端的靶標板；

步驟S4：將快門組件安裝到機械外殼內部的設計位置，并處于前端鏡筒組件和準直鏡組件之間，所述快門組件包括快門和快門架，調整快門的安裝位置使穿出鏡筒的激光光束與快門中心點重合，固定快門組件；

步驟S5：將棱鏡組件和中階梯光柵組件安裝到機械外殼內部的設計位置，所述棱鏡組件包括棱鏡、棱鏡架，所述中階梯光柵組件包括中階梯光柵和中階梯光柵架，使準直鏡反射的光束完全射入棱鏡后到達中階梯光柵的色散面形成光斑；

為了降低棱鏡組件和中階梯光柵組件的安裝誤差，首先將中階梯光柵架固定在機械外殼內，在棱鏡前端設置有開設靶標小孔的靶標板，調整棱鏡組件，保證準直鏡的反射光束與棱鏡前端的靶標小孔完全重合后入射至棱鏡上，消除棱鏡的滾轉誤差，固定棱鏡組件，移除棱鏡前端的靶標板，調整中階梯光柵的轉角，在中階梯光柵的色散方向能夠觀測到多個衍射級次的光斑，當確定最亮的光斑入射至棱鏡中時，固定中階梯光柵組件；

步驟S6：將成像鏡組件、后端柱面鏡組件以及CCD相機組件安裝到機械外殼內部的設計位置，所述成像鏡組件包括成像鏡、成像鏡架以及用于平移成像鏡架的平移臺，所述后端柱面鏡組件包括柱面鏡、柱面鏡架，所述CCD相機組件包括CCD相機和相機固定板，所述CCD相機與計算機電連接；

調整成像鏡的滾轉角度、俯仰角度，在柱面鏡前端設置有開設靶標小孔的靶標板，調整后柱面鏡組件以及CCD相機組件，使中階梯光柵的最亮衍射光斑經棱鏡完全折射至成像鏡上，并且成像鏡的反射光斑與柱面鏡前端的靶標小孔完全重合后透過柱面鏡入射至CCD相機上，固定成像鏡架及平移臺、后端柱面鏡組件以及CCD相機組件，移除柱面鏡前端的靶標板；

步驟S7：將調試光源更換成標準汞燈，通過計算機軟件進行成像鏡的精確調整，將CCD相機傳輸出的汞燈波長譜線與數據庫中存儲的汞燈標準波長譜線比對，通過對成像鏡進行微調，使CCD相機傳輸出的汞燈波長譜線與數據庫中存儲的汞燈標準波長譜線處于誤差允許方位內，固定成像鏡，將汞燈移除，通過殼體真空密封圈將上蓋安裝在機械外殼的上開口處，將機械外殼封閉。