[發明專利]激光掃描控制系統及方法

在審

• 申請號: 202010514895.6
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN112051760A
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: F·M·達勒;D·布倫納;G·希特;柳漢雄
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 黃倩

1.一種激光掃描控制系統(100，200，300)，包括控制設備(101)，所述控制設備(101)用于通過控制以下各項來執行協同掃描控制：

鏡驅動器(121，321)，用于通過運動鏡控制信號(172，372)沿著期望鏡位置(123，323)來驅動鏡(122，322)；以及

激光驅動器(110，310)，用于通過脈沖觸發控制信號(132)來引起要在所述期望鏡位置(123，323)處入射到所述鏡(122，322)上的激光脈沖(112，312)的生成，

其中所述控制設備(101，301)包括用于基于與所述鏡(122，322)的運動相關聯的反饋運動測量(152，352，358)來提供估計運動信息(182，382，406)的運動估計器(400，180，380)，從而通過將用于觸發所述激光脈沖(112，312)的期望調度(143，343)適配所述估計運動信息(182，382，406)，來生成所述脈沖觸發控制信號(132)。

2.根據權利要求1所述的激光掃描控制系統，

其中所述控制設備(101，301)采用使用反饋運動測量(152，352)的鎖相環PLL(127，227，327)，

其中所述控制設備(101，301)被配置為通過考慮所述估計運動信息(382，406)來生成所述運動鏡控制信號(172，372)。

3.一種激光掃描控制系統(200，300)，包括控制設備(101，301)，所述控制設備(101，301)包括用于基于反饋運動測量(152，352，358)來提供估計運動信息(182，382，406)的運動估計器(180，380，400)，從而通過考慮所述估計運動信息(382a，406)來生成運動鏡控制信號(272，372)，其中所述運動估計器(180，380，400)包括：

預測器(410)，用于預測與鏡(122，322)的運動相關聯的運動信息(414)；以及

校正器(430)，用于校正所預測的運動信息(414)以提供經校正的運動信息作為估計運動信息(182，382，406)。

4.根據權利要求1或2所述的激光掃描控制系統(100，300)，

其中所述控制設備(101)包括用于基于所述反饋運動測量(152，352，358)來提供估計運動信息(182，382，406)的運動估計器(180，380，400)，從而通過考慮所述估計運動信息(382，406)來生成所述運動鏡控制信號(272，372)，其中所述運動估計器(180，380，400)包括

預測器(410)，用于預測與所述鏡(122，322)的運動相關聯的運動信息(414)；以及

校正器(430)，用于校正所預測的運動信息(414)以提供經校正的運動信息作為估計運動信息(182，382，406)。

5.根據權利要求3或4中任一項所述的激光掃描控制系統，其中所述預測器(410)被配置為使所述脈沖觸發控制信號(132，332)的周期和/或頻率適配所述估計運動信息(182，382，406)的周期(T_mir)和/或頻率，和/或

所述校正器(430)被配置為使所述脈沖觸發控制信號(132，332)的相位適配所述估計運動信息(182，382，406)的相位(t_mir,zc)。

6.根據權利要求3至5中任一項所述的激光掃描控制系統，其中所述預測器(410)被配置為基于以下各項來獲取所預測的運動信息(414)：

先前估計運動信息(431)；以及

至少第一模型(f)，描述將至少以下各項相關聯的物理交互：

所述運動信息的演變；與

與所述運動鏡控制信號(172)相關聯的信息(172)。