[發明專利]一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法在審
| 申請號: | 202010514730.9 | 申請日: | 2020-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN111725081A | 公開(公告)日: | 2020-09-29 |
| 發明(設計)人: | 文惠東;黃穎卓;林鵬榮;練濱浩;王勇 | 申請(專利權)人: | 北京時代民芯科技有限公司;北京微電子技術研究所 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60;H01L23/488 |
| 代理公司: | 中國航天科技專利中心 11009 | 代理人: | 胡健男 |
| 地址: | 100076 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 針對 塑封 倒裝 焊基板 不同 尺寸 sop 制備 方法 | ||
1.一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于步驟如下:
(1)將基板置于助焊劑印刷網板下,基板上設置有不同規格的大量焊盤,在助焊劑印刷網板上涂覆助焊劑,對所有焊盤進行助焊劑印刷;
(2)根據焊盤尺寸,選擇需要的焊球尺寸,將焊盤分為多組;每組焊盤為同一規格,其上設置同一尺寸的焊球,每種規格的焊盤對應一塊置球網板;對于一組焊盤,將印刷完助焊劑的基板置于與該組焊盤對應的置球網板下,將該組焊盤對應的焊球通過對應的置球網板漏置于該組焊盤上;
(3)在焊球漏置于焊盤上后,將基板置于回流爐中進行回流焊,形成球形焊點;
(4)重復步驟(1)~(3),直至遍歷各組焊盤,各組焊盤上均形成對應的球形焊點;
(5)對制備完焊點的基板進行清洗,以去除殘留助焊劑;
(6)對所有球形焊點進行整平處理。
2.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:基板上設置有不同規格的大量焊盤,具體為:基板上設置有圓形焊盤,焊盤采用鎳金或鎳鈀金的化鍍方式制備。
3.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:每塊助焊劑印刷網板上設有統一規格的多個圓孔,能夠將助焊劑漏至焊盤上。
4.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:所述基板為多層復合結構有機倒裝焊基板,包括芯板、布線層以及阻焊層;芯板上為布線層,布線層上為阻焊層,阻焊層上設置有焊盤的開孔。
5.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:所述焊盤為Ni-Au結構,包括Ni層和Au層,采用電鍍工藝制備,Ni層上為Au層。
6.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:所述助焊劑為水溶性松香基助焊劑。
7.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:所述助焊劑印刷網板采用電鑄工藝制備,在網板上加工有一定尺寸的相同圓孔,圓孔位置與基板上需要進行助焊劑印刷的焊盤位置一一對應,圓孔直徑為焊盤直徑的70%~90%。
8.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:所述焊球成分包括:PbSn、SnAg、SnAgCu這些錫基材料,焊球直徑為焊盤直徑的80%~120%。
9.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:所述置球網板采用電鑄工藝制備,面向基板的一側涂覆保護涂層。
10.根據權利要求1所述的一種針對塑封倒裝焊基板的不同尺寸SOP制備方法,其特征在于:在網板上加工有一定尺寸的相同圓孔,圓孔位置與基板上需要進行漏置焊球的焊盤位置一一對應,置球時需調節置球裝置壓力以及置球網板與基板之間的距離。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





