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[發明專利]一種覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法有效

專利信息
申請號: 202010512898.6 申請日: 2020-06-08
公開(公告)號: CN111751177B 公開(公告)日: 2022-11-04
發明(設計)人: 王斌;賀賢漢;孫泉;葛荘;崔龍;歐陽鵬 申請(專利權)人: 江蘇富樂華半導體科技股份有限公司
主分類號: G01N1/28 分類號: G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34
代理公司: 上海申浩律師事務所 31280 代理人: 趙建敏
地址: 224200 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 陶瓷 拉力 測試 樣品 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

A、銅條預制

銅片前處理后進行貼膜和曝光,顯影、蝕刻和退膜后,切割包裝備用,其中,曝光過程中采用定制條形菲林,所采用的條形菲林中黑色條寬0.5mm-1mm,黑色條間距為2mm-4mm;

B、瓷條預制

瓷片表面除油及表面粗化后,沿平行于瓷片短邊方向進行切割;

C、銅瓷條裝夾

將2~3片銅條對應一片瓷條進行產品燒結,出爐后得到覆銅陶瓷基板拉力測試樣品。

2.根據權利要求1所述的覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于:

其中,步驟A中,銅片前處理包括除油和防氧化清洗兩個步驟,

除油步驟中,采用除油劑和純水去除銅片表面的油污和雜質,所述除油劑包括硫酸30-50g/L,檸檬酸10-20g/L,表面活性劑0.1-1g/L,其余為水,處理時間為3~5min,除油后純水浸洗時間為1~2min,溫度為15~25℃;

防氧化清洗步驟中,防氧化劑的主要成分包括有機酸、雙氧水、苯并咪唑衍生物、苯并三氮唑衍生物鹽,處理時間為3~10min,溫度為15~25℃。

3.根據權利要求1所述的覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于:

其中,步驟A中,每條銅條寬度為2mm-4mm,銅條長度為110mm-150mm,銅條厚度為0.12mm-0.80mm。

4.根據權利要求1所述的覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于:

其中,步驟A中,采用激光切割方式或沖壓裁剪方式制備銅條。

5.根據權利要求1所述的覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于:

其中,步驟A中,采用真空包裝或在氮氣柜中保存的方式,對預制銅條進行包裝備用。

6.根據權利要求1所述的覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于:

其中,所述步驟B中,采用除油劑和純水進行瓷片表面除油,

所述除油劑包括40~70g/L氫氧化鈉、20~50g/L碳酸鈉、10~20g/L磷酸三鈉,其余為水;除油溫度設置為80~90℃,處理時間為3~5min,除油后純水浸洗時間為1~2min,溫度為15~25℃。

7.根據權利要求1所述的覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于:

其中,步驟B中,瓷片表面粗化處理方式包括:堿性溶液處理或混合酸溶液處理氮化鋁陶瓷片表面,

所述堿性溶液為質量分數15%~25%的NaOH或KOH溶液,所述混合酸溶液包括質量分數為25%~65%硫酸、5%~8%的氫氟酸,余量為水。

8.根據權利要求1所述的覆銅陶瓷基板拉力測試樣品制備方法,其特征在于:

其中,步驟C中,進行產品燒結時,若采用焊片工藝,需先焊片貼附;若采用焊料工藝,需先對瓷條進行絲網印刷。

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