[發明專利]一種搬運機械手的安全防護方法及其搬運機械手

在審

• 申請號: 202010510628.1
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN111590642A
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 楊云龍;胡小波;胡章坤;于光明
• 申請（專利權）人: 江蘇京創先進電子科技有限公司
• 主分類號: B25J19/06
• 分類號: B25J19/06;B25J9/14
• 代理公司: 蘇州市小巨人知識產權代理事務所(普通合伙) 32415
• 代理人: 胡亞蘭

1.一種搬運機械手的安全防護方法，所述搬運機械手包括雙作用氣缸，所述搬運機械手在所述雙作用氣缸的驅動作用下進行上下升降行程運動，所述雙作用氣缸的第一氣體腔和第二氣體腔之間設有外部氣體源供給回路；其特征在于，所述外部氣體源供給回路包括外部氣壓源，所述外部氣壓源通過多位五通閥選擇性向第一氣體腔和第二氣體腔注入氣壓；其中，所述安全防護方法包括：

所述多位五通閥與所述第一氣體腔之間設有第一常斷二通閥，且所述多位五通閥與所述第二氣體腔之間設有第二常斷二通閥；

當正常通電通氣時，所述第一常斷二通閥和所述第二常斷二通閥均處于通電打開狀態，所述雙作用氣缸的驅動桿在所述多位五通閥的開關控制下進行垂直升降運動；

當意外斷電和/或意外斷氣時，所述第一常斷二通閥和所述第二常斷二通閥均處于斷電關閉狀態，使得第一常斷二通閥、雙作用氣缸、第二常斷二通閥之間形成閉合腔體，防止第一氣體腔和第二氣體腔內的氣壓突變，避免所述搬運機械手攜帶工件突然下墜。

2.根據權利要求1所述的搬運機械手的安全防護方法，其特征在于，所述第一常斷二通閥與所述第一氣體腔之間設有第一排氣節流閥，所述第二常斷二通閥與所述第二氣體腔之間設有第二排氣節流閥。

3.根據權利要求1所述的搬運機械手的安全防護方法，其特征在于，所述多位五通閥采用二位五通閥。

4.根據權利要求1所述的搬運機械手的安全防護方法，其特征在于，所述外部氣壓源連接有氣壓表。

5.根據權利要求1所述的搬運機械手的安全防護方法，其特征在于，當正常斷電斷氣時，所述第一常斷二通閥和所述第二常斷二通閥的斷電時間滯后于所述多位五通閥的斷電時間，避免形成閉合腔體，使得搬運機械手復位為初始狀態。

6.根據權利要求5所述的搬運機械手的安全防護方法，其特征在于，所述第一常斷二通閥和所述第二常斷二通閥的斷電時間相對所述多位五通閥的斷電時間滯后0.5-3秒。

7.一種搬運機械手，包括雙作用氣缸，所述雙作用氣缸安裝在X軸運動平臺和/或Y軸運動平臺上，所述雙作用氣缸的驅動桿固定安裝連接用于定位放置待搬運工件的工件支撐架，其特征在于，所述搬運機械手采用如權利要求1-6之一所述的搬運機械手的安全防護方法。

8.根據權利要求7所述的搬運機械手，其特征在于，所述工件支撐架采用吸盤組件，用于定位放置半導體晶圓；所述吸盤組件與所述驅動桿固定安裝連接為一體。

9.根據權利要求7所述的搬運機械手，其特征在于，所述搬運機械手作為全自動劃片機設備的搬運機械手。

10.一種搬運機械手，包括液壓缸，所述搬運機械手在所述液壓缸的驅動作用下進行上下升降行程運動，所述液壓缸的第一液壓腔和第二液壓腔之間采用液壓供給回路驅動，其特征在于，所述液壓供給回路包括外部液壓源，所述外部液壓源通過多位五通閥選擇性向第一液壓腔和第二液壓腔注入液壓；所述多位五通閥與所述第一液壓腔之間設有第一常斷二通閥，且所述多位五通閥與所述第二液壓腔之間設有第二常斷二通閥；

當正常通電通液壓時，所述第一常斷二通閥和所述第二常斷二通閥均處于通電打開狀態，所述液壓缸的驅動桿在所述多位五通閥的開關控制下進行垂直升降運動；

當意外斷電和/或液壓壓力低于正常范圍時，所述第一常斷二通閥和所述第二常斷二通閥均處于斷電關閉狀態，使得第一常斷二通閥、液壓缸、第二常斷二通閥之間形成閉合腔體，防止第一液壓腔和第二液壓腔內的液壓突變，避免所述搬運機械手攜帶工件突然下墜。