[發明專利]一種PT對稱垂動微機電系統

有效

• 申請號: 202010504080.X
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN111960374B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 王立峰;張馳;張曼娜;黃慶安
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81B7/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 朱楨榮

1.一種PT對稱垂動微機電系統，其特征在于，包括襯底、錨區、第一微機電結構、第二微機電結構、第一可調阻尼電路和第二可調阻尼電路；所述第一微機電結構、第二微機電結構共享襯底和錨區，且為鏡像對稱結構；其中，

所述第一微機電結構包括第一諧振梁、第一差分電容下電極、第一差分電容上電極、第一上電極錨區和第一耦合結構；

所述第二微機電結構包括第二諧振梁、第二差分電容下電極、第二差分電容上電極、第二上電極錨區和第二耦合結構；

錨區設置在襯底上，第一諧振梁的末端與錨區相連，第一上電極錨區設置在襯底上且位于第一諧振梁的頂端的側面，第一差分電容上電極與第一上電極錨區連接且位于第一諧振梁的上方，第一差分電容下電極設置在襯底上且位于第一諧振梁的頂端的正下方，第一差分電容下電極與第一差分電容上電極正對靠近放置，第一諧振梁的頂端部分位于第一差分電容下電極與第一差分電容上電極中間位置，第一耦合結構位于第一諧振梁的側面位置，第一耦合結構和第二耦合結構正對靠近形成靜電耦合結構；

所述第一差分電容下電極和第一差分電容上電極分別與第一可調阻尼電路相連；所述第二差分電容下電極和第二差分電容上電極分別與第二可調阻尼電路相連；

所述第一可調阻尼電路作用于第一微機電結構的等效阻尼和第二可調阻尼電路作用于第二微機電結構的等效阻尼符號相反、大小相等。

2.根據權利要求1所述的一種PT對稱垂動微機電系統，其特征在于，第一可調阻尼電路和第二可調阻尼電路的電路結構相同，第一可調阻尼電路包括依次順序連接的機電轉換電路、增益控制電路、相位控制電路和電機轉換電路。