[發明專利]一種晶圓籃清洗設備進料機構及進料方法

有效

• 申請號: 202010501775.2
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN111634687B
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;童建
• 申請（專利權）人: 無錫亞電智能裝備有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G49/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本申請涉及一種晶圓籃清洗設備進料機構，包括：工作臺，第一傳輸組件，第二傳輸組件，感應組件；晶圓籃底部鏤空、內壁底部成型有定位槽，定位槽與固定晶圓的固定槽一一對應設置，所述感應組件包括傾斜滑動塊，以及位于滑動塊頂端的若干平行的感應齒和導向齒，所述導向齒在上升時，能夠伸入到位于第三固定座上的晶圓籃的定位槽中，此時放置于固定槽內的晶圓會進入相鄰兩個感應齒的間隙中，感應齒的側壁上設置有光電傳感器，用于感應相鄰的感應齒間隙內是否存在晶圓。通過上述設置，能夠在進行供料前對晶圓籃內的晶圓進行一次識別。

技術領域

本申請屬于清洗設備技術領域，尤其是涉及一種晶圓籃清洗設備進料機構及進料方法。

背景技術

晶圓的清洗通常是先將晶圓放置晶圓籃內，再由輸送機構將晶圓籃輸送到各類清洗設備內進行清洗，晶圓籃清洗設備進料機構就是用于將晶圓籃輸送到清洗工位上。

現有的晶圓籃清洗設備進料機構無法很好的感應晶圓籃內的晶圓情況。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為解決現有技術中的不足，從而提供一種能夠在清洗前對晶圓籃內的晶圓數量進行檢測的晶圓籃清洗設備進料機構及進料方法。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種晶圓籃清洗設備進料機構，包括：

工作臺，所述工作臺設置有用于固定晶圓籃的第一固定座，第二固定座和第三固定座，其中第一固定座，第二固定座和第三固定座成“L”形布置，且第一固定座與第二固定座、第二固定座與第三固定座之間的所述工作臺上成型有讓位槽；

第一傳輸組件，位于所述工作臺下方，用于將晶圓籃從第一固定座運輸到第二固定座上；

第二傳輸組件，位于所述工作臺下方，用于將晶圓籃從第二固定座運輸到第三固定座上；

感應組件，設置在所述工作臺下方，位于第三固定座處，用于感應晶圓籃中的晶圓數量；

所述晶圓籃底部鏤空、內壁底部成型有定位槽，定位槽與固定晶圓的固定槽一一對應設置，所述感應組件包括傾斜滑動塊，以及位于滑動塊頂端的若干平行的感應齒和導向齒，所述導向齒在上升時，能夠伸入到位于第三固定座上的晶圓籃的定位槽中，此時放置于固定槽內的晶圓會進入相鄰兩個感應齒的間隙中，感應齒的側壁上設置有光電傳感器，用于感應相鄰的感應齒間隙內是否存在晶圓。

優選地，本發明的晶圓籃清洗設備進料機構，第一固定座，第二固定座和第三固定座均為成矩形布置的4個固定塊，所述固定塊為呈L形的擋塊。

優選地，本發明的晶圓籃清洗設備進料機構，所述擋塊的內壁為斜面。

優選地，本發明的晶圓籃清洗設備進料機構，所述讓位槽包括兩條平行的橫向槽和與兩條平行的橫向槽連通的一條縱向槽，其中兩個第一固定座分別位于橫向槽的一端，第二固定座位于橫向槽與縱向槽的連接處，第三固定座位于縱向槽末端。

優選地，本發明的晶圓籃清洗設備進料機構，第一傳輸組件和第二傳輸組件均包括滑軌、滑塊、直線運動驅動件、升降驅動件、頂塊，滑軌沿著讓位槽的橫向槽或者縱向槽布置，滑軌上設置有滑塊，直線運動驅動件驅動滑塊在滑軌運動，所述滑塊上設置有頂塊，所述升降驅動件驅動頂塊升降以將第一固定座，第二固定座和第三固定座上的晶圓籃頂起或者放下。

優選地，本發明的晶圓籃清洗設備進料機構，所述晶圓籃的兩側邊具有若干平行的固定槽，晶圓被固定于固定槽中。

本發明還提供一種晶圓籃清洗設備進料方法，使用上述的晶圓籃清洗設備進料機構，包括以下步驟：

S1：將晶圓籃放置于第一固定座上；

S2：第一傳輸組件動作，將晶圓籃從第一固定座運輸到第二固定座上；