[發明專利]液處理裝置、液處理方法以及存儲介質有效
| 申請號： | 202010500719.7 | 申請日： | 2020-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN112058529B | 公開（公告）日： | 2023-08-18 |
| 發明（設計）人： | 若水信也 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | B05B9/04 | 分類號： | B05B9/04;B05B12/04;G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 方法 以及 存儲 介質 | ||
1.一種液處理裝置，具備：
至少三個泵，其分別進行接收處理液的接收動作和將接收到的所述處理液向同一管路噴出的噴出動作；
后級泵，其進行接收被噴出到所述同一管路的所述處理液的接收動作和噴出接收到的所述處理液的噴出動作；以及
送液控制部，其重復進行以下控制：使所述三個泵中的任意兩個泵執行所述噴出動作，以及使噴出了所述處理液的兩個所述泵按照順序執行所述接收動作，
所述送液控制部在使所述三個泵中的任意兩個泵執行所述噴出動作的期間，使剩余的一個泵執行所述接收動作。
2.根據權利要求1所述的液處理裝置，其特征在于，
所述送液控制部使所述三個泵各自重復執行如下的一組動作，該一組動作按照順序包括所述接收動作、所述噴出動作、其它所述泵的所述接收動作的等待、所述接收動作、其它所述泵的所述接收動作的等待以及所述噴出動作。
3.根據權利要求1或2所述的液處理裝置，其特征在于，
還具備后級送液控制部，該后級送液控制部重復進行以下控制：在所述三個泵中的任意兩個泵執行所述噴出動作的期間使所述后級泵執行所述接收動作，以及在噴出了所述處理液的兩個所述泵按照順序執行所述接收動作的期間使所述后級泵執行所述噴出動作。
4.根據權利要求3所述的液處理裝置，其特征在于，
還具備后級維護控制部，該后級維護控制部在所述三個泵中的任意兩個泵執行所述噴出動作的期間使該兩個泵噴出的所述處理液通過所述后級泵。
5.一種液處理方法，包括送液控制以及后級送液控制，
其中，在送液控制中重復進行以下控制：使分別進行接收處理液的接收動作和將接收到的所述處理液向同一管路噴出的噴出動作的至少三個泵中的任意兩個泵執行所述噴出動作，以及使噴出了處理液的兩個所述泵按照順序執行所述接收動作，
在后級送液控制中重復進行以下控制：使后級泵執行接收所述三個泵中的任意兩個泵噴出的所述處理液的接收動作，以及使所述后級泵執行噴出接收到的所述處理液的噴出動作，
所述送液控制包括以下控制：在使所述三個泵中的任意兩個泵執行所述噴出動作的期間使剩余的一個泵執行所述接收動作。
6.根據權利要求5所述的液處理方法，其特征在于，
所述送液控制包括使所述三個泵各自重復執行如下的一組動作的控制，該一組動作按照順序包括所述接收動作、所述噴出動作、其它所述泵的所述接收動作的等待、所述接收動作、其它所述泵的所述接收動作的等待以及所述噴出動作。
7.根據權利要求5或6所述的液處理方法，其特征在于，
在所述后級送液控制中，在所述三個泵中的任意兩個泵執行噴出動作的期間使所述后級泵執行所述接收動作，在噴出了所述處理液的兩個所述泵按照順序執行所述接收動作的期間使所述后級泵執行所述噴出動作。
8.根據權利要求7所述的液處理方法，其特征在于，
還包括后級維護控制，在該后級維護控制中，在所述三個泵中的任意兩個泵執行所述噴出動作的期間使該兩個泵噴出的所述處理液通過所述后級泵。
9.一種計算機可讀取存儲介質，
存儲有用于使裝置執行根據權利要求5～8中的任一項所述的液處理方法的程序。
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