[發明專利]一種基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法

有效

• 申請號: 202010500104.4
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN111599742B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 朱智源;韓志成;郭靖
• 申請（專利權）人: 西南大學
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

1.一種基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，包括以下步驟：?步驟1、提供一載片，在所述載片的正面規則的開一定形狀的槽；?步驟2、在所述載片的槽中放置石墨；?步驟3、將載片正面和器件晶圓上設置鍵合膠；?步驟4、將器件晶圓正面與載片正面進行鍵合，得到臨時晶圓鍵合對；?步驟5、對加工后的臨時晶圓鍵合對，對器件晶圓背面進行加工；?步驟6、將器件晶圓正面與載片正面進行解鍵合，將器件晶圓與載片進行分離。

2.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟1中所述載片的材料使用玻璃。

3.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟1中所述載片開槽的寬度為0.5mm~1mm。

4.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟1中所述載片開槽通過刻蝕進行制作。

5.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟1中所述載片開槽面積占整體載片面積的50%~60%。

6.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟2中載片的槽中放置的石墨高度不能超過載片槽深。

7.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟2中載片的槽中放置的石墨粉直徑不能超過30μm。

8.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟3中的鍵合膠采用聚碳酸亞丙酯和光致產酸劑混合而成。

9.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，鍵合膠中使用20wt%的聚碳酸亞丙酯，光致產酸劑為5wt%的4-異丙基-4'-甲基二苯基碘離子四(五氟苯基)硼酸鹽。

10.根據權利要求1所述的基于石墨的臨時鍵合和解鍵方法，其特征在于，步驟3中設置鍵合膠時，需要對設置在設置鍵合膠后的器件晶圓與載片進行加熱，將鍵合膠設置平整，加熱溫度為25°，加熱時間為25分鐘。