[發明專利]一種遠紅外探測器及近場顯微鏡

有效

• 申請號: 202010499983.3
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN111610345B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 向奎;王紀浩;黃秋萍;陸輕鈾;陸亞林
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G01Q60/18
• 分類號: G01Q60/18;G01J1/42;G01N21/3581;H01L31/028;H01L31/0352;H01L31/09
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱宗力

1.一種遠紅外探測器，其特征在于，包括：

針尖狀結構；所述針尖狀結構為棱柱形針尖結構或圓臺狀針尖結構；

位于所述針尖狀結構的側面或底面的石墨烯量子點；當所述石墨烯量子點位于所述針尖狀結構的側面時，所述石墨烯量子點與所述針尖狀結構的底面的距離小于或等于預設距離；縮小了整個遠紅外探測器的體積，且所述遠紅外探測器在使用過程中僅需要固定所述針尖狀結構，簡化了太赫茲信號的探測流程；

分別與所述石墨烯量子點的兩側對稱連接的兩個石墨烯電極；所述石墨烯電極設置于所述針尖狀結構的側面；

分別與所述石墨烯電極遠離所述石墨烯量子點一側連接的兩個金屬電極。

2.根據權利要求1所述的遠紅外探測器，其特征在于，所述石墨烯量子點為單層石墨烯，且所述石墨烯量子點的直徑小于100nm。

3.根據權利要求1所述的遠紅外探測器，其特征在于，當所述針尖狀結構為棱柱形針尖結構時；

所述棱柱形針尖結構的底面的一個端點為近樣品點；

所述棱柱形針尖結構共用所述近樣品點的三個表面為底面、第一豎面和第二豎面。

4.根據權利要求3所述的遠紅外探測器，其特征在于，所述石墨烯量子點位于所述底面；

兩個所述石墨烯電極分別設置于所述第一豎面和所述第二豎面。

5.根據權利要求3所述的遠紅外探測器，其特征在于，所述石墨烯量子點位于所述第一豎面；

兩個所述石墨烯電極分別設置于所述第一豎面和所述第二豎面。

6.根據權利要求3所述的遠紅外探測器，其特征在于，所述石墨烯量子點位于所述第一豎面；

兩個所述石墨烯電極均設置于所述第一豎面。

7.一種近場顯微鏡，其特征在于，包括聚焦系統、掃描探針顯微鏡系統以及如權利要求1-6任一項所述的遠紅外探測器；其中，

所述遠紅外探測器固定于所述掃描探針顯微鏡系統的馬達上，所述馬達上還固定有所述掃描探針顯微鏡系統的針尖；

所述聚焦系統用于將光束聚焦至所述掃描探針顯微鏡系統的樣品臺上；

在所述掃描探針顯微鏡系統的掃描過程中，所述遠紅外探測器位于所述針尖與所述樣品臺的工作區范圍內。