[發明專利]一種基板運送用機械臂

有效

• 申請號: 202010499526.4
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN111646195B
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 張改蓮;李曼
• 申請（專利權）人: 西安外事學院
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本發明公開了一種基板運送用機械臂，涉及基板運送技術領域，包括動力控制裝置和設置在動力控制裝置上用于運送基板的機械臂，還包括：機械臂的數量為兩個；以及安裝板，安裝板安裝在動力控制裝置上，且兩個機械臂安裝在安裝板遠離動力控制裝置的一側；以及調節機構、斜板和穩定機構，兩個斜板的頂部均設置有多個穩定機構；本發明調節機構以轉動的方式調節兩個機械臂之間的間距，用于放置不同大小的基板，節省機械臂的數量，且調節方便，兩個機械臂通過調節機構在間距調節時，兩個機械臂在穩定機構上進行移動，兩個機械臂在通過調節機構調節后，穩定機構自動上移支撐在基板的底部。

技術領域

本發明涉及基板運送技術領域，具體為一種基板運送用機械臂。

背景技術

TFT基板制作過程中，基板需要完成清洗、成膜、曝光顯影等不同道別的制程，這些制程需要在不同的機臺內完成，在這一系列過程中，基板需要不斷的通過機械臂進行機臺間和機臺內部的搬送。

TFT基板厚度通常是比較薄的，機械臂承載基板時，基板與機械臂的接觸面減小，使用過程中常常發生因接觸面減小摩擦力不足造成基板在機械臂上位置偏移，發生破片，同時，在對不同大小的基本進行運輸時，通常是增加機械臂的數量來解決，但是，這種方式，不僅耗時耗力，且需要很多的機械臂，為此需要進行改進。

發明內容

針對現有技術的不足，本發明提供了一種基板運送用機械臂，解決了背景技術中提到的問題。

為實現以上目的，本發明通過以下技術方案予以實現：一種基板運送用機械臂，包括動力控制裝置和設置在動力控制裝置上用于運送基板的機械臂，還包括：

所述機械臂的數量為兩個；以及

安裝板，所述安裝板安裝在動力控制裝置上，且兩個機械臂安裝在安裝板遠離動力控制裝置的一側；以及

調節機構，所述調節機構設置在安裝板遠離動力控制裝置的一側上，且兩個機械臂安裝在調節組件機構上，所述調節機構以轉動的方式調節兩個機械臂之間的間距，用于放置不同大小的基板；以及

斜板，所述斜板為兩個，且兩個斜板也均固定在安裝板遠離動力控制裝置的一側，所述斜板的頂部抵在機械臂的底部；以及

穩定機構，兩個斜板的頂部均設置有多個穩定機構，且兩個機械臂通過調節機構在間距調節時，兩個機械臂在穩定機構上進行移動，兩個機械臂在通過調節機構調節后，穩定機構自動上移支撐在基板的底部。

優選的，所述調節機構包括：

槽體，所述槽體開設在安裝板遠離動力控制裝置的一側上，且槽體的兩端均呈封閉設置；以及

通孔，所述通孔開設在槽體的一個端壁上，且通孔橫向貫穿安裝板；以及

轉動組件，所述轉動組件設置在槽體內；以及

限制組件，所述限制組件設置在轉動組件與槽體之間，且轉動組件通過限制組件安裝在槽體內。

優選的，所述轉動組件包括：

螺桿，所述螺桿的一端轉動安裝在槽體另一個端壁上，且螺桿的另一端經通孔伸出安裝板，所述螺桿位于槽體內的表面上開設有兩段旋向相反的外螺紋；以及

螺套，所述螺套為兩個設置，且兩個螺套分別螺合在螺桿的兩段外螺紋上，所述限制組件安裝在螺套后端與槽體側壁之間，且限制組件用于限制兩個螺套的圓周運動。

優選的，所述限制組件包括：

滑塊，兩個螺套的后端均固定有滑塊；以及

滑槽，所述滑槽開設在槽體的側壁上，且滑塊的后端滑動安裝在滑槽內。

優選的，兩個斜板在兩個機械臂的下方呈交叉設置。