[發明專利]一種ITO靶材坯體干燥脫脂裝置及干燥脫脂方法

在審

• 申請號: 202010493054.1
• 申請日: 2020-06-03
• 公開（公告）號: CN111609698A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 黃田奇;張科;李康;李強
• 申請（專利權）人: 福建阿石創新材料股份有限公司
• 主分類號: F26B15/14
• 分類號: F26B15/14;F26B15/18;F26B23/08;F26B3/30;F26B25/06;F26B25/18;C04B35/638
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 趙曉琳

本發明提供了一種ITO靶材坯體干燥脫脂裝置及干燥脫脂方法，屬于靶坯干燥領域。本發明提供的裝置，利用了微波加熱器和紅外加熱設備，使用了微波干燥和紅外干燥混合干燥的方法，提高干燥的速率；橫向移動導軌使靶坯在干燥過程中可以橫向往復勻速運動，從而達到均勻干燥的目的，避免了微波干燥或紅外干燥不均勻導致靶坯開裂的情況；且本發明所提供的裝置是干燥脫脂一體爐，在同一個爐子可以同時完成干燥和脫脂兩道工藝，簡化了工藝，節省了工廠場地設備的投入。

技術領域

本發明涉及靶坯干燥技術領域，尤其涉及一種ITO靶材坯體干燥脫脂裝置及干燥脫脂方法。

背景技術

近年來，隨著鍍膜技術的日益成熟，人們對靶材的需求愈來愈大，同時對靶材的品質要求也越來越苛刻，ITO靶材作為顯示鍍膜過程中必不可少的材料，其需求也日漸增大。

目前，ITO靶材的制備工藝有冷壓燒結法、熱等靜壓法、熱壓法和有氧燒結法。傳統的冷壓燒結工藝，得不到高密度的ITO靶材，無法滿足生產要求。熱等靜壓工藝包套難度大，設備投資大且生產效率較低。而用熱壓法制備ITO靶材時，對熱壓設備的熱應力場、溫度場要求高，燒結過程中容易發生熱應力開裂。因此，有氧燒結法較其他方法是一種比較理想的制備工藝，較其他制備方法，流程簡單，設備投入小，適合大批量生產，但其也有些許工藝有待改進，注漿成型得到的ITO靶坯含水量在15％左右，干燥后的坯體收縮率在3％左右，傳統干燥工藝就是將靶坯放入恒溫恒濕的環境中進行自然干燥，這種干燥工藝干燥周期長，往往需要80小時左右干燥，且會出現靶坯干裂的情況。

中國專利CN108640674A公開了一種恒溫恒濕快速干燥ITO靶材坯體的方法，該方法將靶材進行分步干燥，來縮短干燥時間，其較傳統干燥工藝時間有所縮短，但仍需要兩天左右時間進行干燥，其干燥時間仍無法滿足工廠大規模生產，且干燥完還需再轉移到另外的脫脂爐中進行脫脂處理。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種ITO靶材坯體干燥脫脂裝置及干燥脫脂方法。本發明提供的ITO靶材坯體干燥脫脂裝置不僅可以大大縮短干燥時間，提高干燥靶坯的成品率，且可進行脫脂，將干燥脫脂工藝一體化，簡化了工藝，節約了成本。

為了實現上述發明目的，本發明提供以下技術方案：

本發明提供了一種ITO靶材坯體干燥脫脂裝置，包括控制臺、供氧設備、微波發生器、連接波導管、微波加熱器、紅外加熱設備、橫向移動導軌和墊板，

所述連接波導管、微波加熱器、紅外加熱設備、橫向移動導軌和墊板位于帶有開口的密閉容器中，所述控制臺、供氧設備和微波發生器位于所述帶有開口的密閉容器外；

所述微波發生器通過連接波導管與微波加熱器連接；

所述墊板位于橫向移動導軌表面；所述墊板為干燥墊板或脫脂墊板；

所述微波加熱器和紅外加熱設備設置在橫向移動導軌的上方。

優選的，所述脫脂墊板包括上板、下板和墊球，所述墊球位于所述上板和下板之間且可轉動。

優選的，所述干燥墊板的材質為石膏，所述脫脂墊板的材質為樹脂。

優選的，所述墊球的材質為耐高溫陶瓷。

優選的，所述墊球的材質為氧化鋯陶瓷。

優選的，所述紅外加熱設備包括紅外加熱燈組和紅外測溫儀。

本發明還提供了一種ITO靶材坯體干燥脫脂方法，利用上述技術方案所述的ITO靶材坯體干燥脫脂裝置，包括以下步驟：

將注漿成型的ITO靶材坯體放置到干燥墊板上，裝入所述密閉容器中，啟動微波發生器和微波加熱器，同時啟動橫向移動導軌，進行微波干燥，得到微波干燥后的坯體；