[發明專利]一種ITO蒸鍍料及其制備方法

在審

• 申請號: 202010493048.6
• 申請日: 2020-06-03
• 公開（公告）號: CN111606704A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 黃田奇;張科;張瑜;林金發;池銘浩;李強
• 申請（專利權）人: 福建阿石創新材料股份有限公司
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/622;C04B37/00;B28D1/22;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 趙曉琳

本發明提供了一種ITO蒸鍍料及其制備方法，屬于蒸發鍍膜材料技術領域。本發明將銦錫氧化物四邊形板材組裝為四邊形板材組裝塊體，然后平行于所述四邊形板材組裝塊體的一對平行邊對其從上到下進行第一多刀切割，然后平行于所述四邊形板材組裝塊體的另一對平行邊對其從上到下進行第二多刀切割，即可得到切割料，將該切割料加熱后，熱熔膠熔化，然后分離熱熔膠，即可將大部分熱熔膠去除，然后進行第一水洗、堿洗和第二水洗，得到純凈、且規格相同的蒸鍍料。本發明將四邊形板材組裝為四邊形板材組裝塊體，使得常用于切片和切粒的多刀切割技術可應用于ITO蒸鍍料的制備，所得ITO蒸鍍料的規格相同，且制備方法簡單，具有較高的生產效率。

技術領域

本發明涉及蒸發鍍膜材料技術領域，尤其涉及一種ITO蒸鍍料及其制備方法。

背景技術

銦錫氧化物(簡稱ITO)是一種功能陶瓷材料，是對稀有金屬銦進行深加工的產物。ITO薄膜因為具有低電阻率以及對可見光的高透過率，已被廣泛應用于太陽能電池、火車飛機用除霜玻璃、液晶顯示器(Lcds)、有機發光二極管(OLED)、GaN基LED和觸摸屏(Tps)中的透明導電電極中。常見的ITO薄膜的制備方法有真空蒸鍍法、化學氣相沉積法、噴涂法、磁控濺射法和溶膠-凝膠法，其中，真空蒸鍍法是利用大電流產生高熱能使蒸鍍料蒸發或升華成具有能量的氣態粒子離開蒸鍍料表面，并沉積在待鍍材料表面形成薄膜。真空蒸鍍法具有如下顯著優點：適用范圍廣，能在金屬、半導體、絕緣體甚至塑料上沉積；純度高，造成的污染小，可控制薄膜厚度以及顯微結構，其被廣泛應用于ITO薄膜的沉積。

ITO蒸鍍料作為真空蒸鍍ITO薄膜的原材料，呈現出巨大的市場需求?，F有ITO蒸鍍料通常有顆粒狀以及大塊狀，但顆粒狀ITO蒸鍍料由于其受熱均勻、蒸發速度快、成膜效率高而得到廣泛使用。但對于形狀大小不規則的ITO蒸鍍顆粒，在使用過程中，汽化分子的蒸發發射角會不斷發生變化，粒子凝結不均勻，會導致成膜質量下降，因此ITO蒸鍍料的形狀尺寸必須加以控制?，F有生產技術中，多采用破碎大塊狀ITO陶瓷的方式生產顆粒狀ITO蒸鍍料，但其形狀尺寸無法控制；還有部分現有技術采用線切割機對ITO塊體進行切割以制備顆粒狀ITO蒸鍍料，雖然可以控制其形狀大小，但效率低下，而且生產過程中線材經過不斷磨損一旦產生斷裂，需要停工重新換線，影響生產線整體進度。

發明內容

本發明的目的在于提供一種ITO蒸鍍料及其制備方法，本發明所提供的制備方法制備得到的ITO蒸鍍料形狀規則，尺寸一致，且具有較高的生產效率，適用于銦錫氧化物蒸鍍料的制備。

為了實現上述發明目的，本發明提供以下技術方案：

本發明提供了一種ITO蒸鍍料的制備方法，包括如下步驟：

提供銦錫氧化物四邊形板材；所述銦錫氧化物四邊形板材的形狀為矩形或平行四邊形；

將若干銦錫氧化物四邊形板材的四邊對齊層疊放置，并在相鄰銦錫氧化物四邊形板材之間涂滿熱熔膠，待所述熱熔膠固化，得到四邊形板材組裝塊體；

平行于所述四邊形板材組裝塊體的一對平行邊對其從上到下進行第一多刀切割，然后平行于所述四邊形板材組裝塊體的另一對平行邊對其從上到下進行第二多刀切割，得到切割料；所述第一多刀切割所用的刀片相互平行；所述第二多刀切割所用的刀片相互平行；所述第一多刀切割和第二多刀切割均為等分切割；

將所述切割料加熱，以使熱熔膠熔化，然后分離熱熔膠，得到ITO蒸鍍料粗品；

將所述ITO蒸鍍料粗品依次進行第一水洗、堿洗和第二水洗，得到ITO蒸鍍料。

優選地，所述銦錫氧化物四邊形板材的厚度為6～8mm，所述第一多刀切割和第二多刀切割的刀片間距獨立地為3.0～4.5mm。

優選地，所述銦錫氧化物四邊形板材的層數為20～30層。

優選地，所述銦錫氧化物四邊形板材的制備方法包括如下步驟：