[發明專利]一種應用于中紅外波段的懸空型邊緣耦合器有效
| 申請號： | 202010487984.6 | 申請日： | 2020-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN111679364B | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 王書曉;王慶;蔡艷;余明斌;王曦 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G02B6/122 | 分類號： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 上海泰能知識產權代理事務所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 魏峯;黃志達 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 應用于 紅外 波段 懸空 邊緣 耦合器 | ||
【權利要求書】：
1.一種應用于中紅外波段的懸空型邊緣耦合器，其特征在于：包括三端口倒錐形耦合器(1)、懸空脊型波導(2)和懸梁臂支撐結構(3)；所述三端口倒錐形耦合器(1)與懸空脊型波導(2)直接相連；所述懸梁臂支撐結構(3)用以支撐三端口倒錐形耦合器(1)。
2.根據權利要求1所述的懸空型邊緣耦合器，其特征在于：所述三端口倒錐形耦合器(1)中的端口用以接收中紅外波段的光輸入。
3.根據權利要求1所述的懸空型邊緣耦合器，其特征在于：所述懸梁臂支撐結構(3)由多條平行的條形波導組成。
4.根據權利要求3所述的懸空型邊緣耦合器，其特征在于：所述條形波導的厚度與三端口倒錐形耦合器(1)厚度相同或與懸空脊型波導(2)的平板區域厚度相同。
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