[發明專利]一種分辨率板有效
| 申請號: | 202010475489.3 | 申請日: | 2020-05-29 |
| 公開(公告)號: | CN111579220B | 公開(公告)日: | 2023-02-10 |
| 發明(設計)人: | 于向前 | 申請(專利權)人: | 江蘇迪盛智能科技有限公司 |
| 主分類號: | G01M11/02 | 分類號: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 蘇州集律知識產權代理事務所(普通合伙) 32269 | 代理人: | 安紀平 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市吳中*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 分辨率 | ||
1.一種分辨率板,其特征在于,所述分辨率板包括基板,所述基板上設有至少一個用于測試成像系統分辨率的分辨率測試圖案,每個分辨率測試圖案包括中心視場線對圖案、全視場線對圖案及用于標示分辨率測試圖案邊界位置的多個邊緣標線,多個所述邊緣標線中,相交的兩個邊緣標線的交點處設有用于標示交點位置的坐標,所述成像系統包括DMD芯片、光軸,所述分辨率測試圖案中邊緣標線標示的邊界所形成的區域與DMD尺寸一致,所述分辨率測試圖案中邊緣標線標示的邊界所形成的區域的中心與光軸的中心一致,其中,所述基板上設有兩個用于測試成像系統不同分辨率的分辨率測試圖案,兩個所述分辨率測試圖案共用中心視場線對圖案,所述兩個用于測試成像系統不同分辨率的分辨率測試圖案存在重疊區域。
2.根據權利要求1所述的分辨率板,其特征在于,所述分辨率測試圖案中邊緣標線標示的邊界所形成的區域為矩形區域,所述矩形區域的中心處設置中心視場線對圖案,靠近頂角處設有全視場線對圖案。
3.根據權利要求1所述的分辨率板,其特征在于,所述全視場線對圖案與中心視場線對圖案相同。
4.根據權利要求3所述的分辨率板,其特征在于,所述分辨率測試圖案還包括用于測試成像系統在0.707視場處分辨率的0.707視場線對圖案,所述中心視場線對圖案與全視場線對圖案之間設置所述0.707視場線對圖案,且所述0.707視場線對圖案與中心視場線對圖案相同。
5.根據權利要求3所述的分辨率板,其特征在于,所述中心視場線對圖案和全視場線對圖案均包括排布成兩行兩列的5um線對圖形、10um線對圖形、15um線對圖形和20um線對圖形。
6.根據權利要求5所述的分辨率板,其特征在于,第一行第一列為20um線對圖形、第一行第二列為10um線對圖形、第二行第一列為15um線對圖形、第二行第二列為5um線對圖形。
7.根據權利要求5所述的分辨率板,其特征在于,所述線對圖形包括沿橫向設置的第一線對組和沿與橫向相垂直的縱向設置的第二線對組,所述第一線對組和第二線對組均包括多個間隔設置的線對。
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