[發明專利]異常檢測系統和異常檢測程序

在審

• 申請號: 202010474915.1
• 申請日: 2020-05-29
• 公開（公告）號: CN112230113A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 川武正壽
• 申請（專利權）人: 瑞薩電子株式會社
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R13/20;G06K9/00;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 李輝

本發明的實施例涉及異常檢測系統和異常檢測程序。異常檢測系統具有檢測目標波形生成單元和檢測目標波形確定/異常檢測單元。檢測目標波形包括學習檢測目標波形的目標波形檢測算法，并通過對輸入波形執行目標波形檢測算法來生成預期檢測目標波形。檢測目標波形確定/異常檢測單元將預期檢測目標波形與輸入波形進行比較，以確定輸入波形對應于檢測目標波形。

相關申請的交叉引用

于2019年6月28日提交的日本專利申請號2019-121438的公開，包括說明書、附圖和摘要，其內容通過整體引用并入本文。

技術領域

本發明涉及異常檢測系統和異常檢測程序，例如，涉及半導體等制造廠中的制造裝置的異常檢測系統和異常檢測程序。

例如，在諸如半導體的制造廠中的制造裝置的異常檢測系統中，當滿足某一條件時(諸如當輸入信號電平超過預定值時)，將待被檢測的信號分離并提取為觸發條件。

背景技術

下面列出了公開的技術。

[專利文獻1]

日本未審查專利申請公開號2010-38884

除了輸入信號電平之外，專利文獻1公開了一種用于通過使用輸入信號上升/下降時間、建立/保持違規、超短幀、躍遷、脈沖寬度等作為觸發來分離待被檢測信號的方法。

發明內容

如專利文獻1的檢測方法那樣，除了待被檢測的檢測目標波形之外，還混合了滿足用于分離檢測目標的條件的波形，在一些情況下，會將該波形錯誤地認為是檢測目標波形而對其進行判斷。

根據本說明書和附圖的描述，其他目標和新穎特征將會變得明顯。

根據一個實施例，異常檢測系統包括檢測目標波形生成單元，該檢測目標波形生成單元具有學習檢測目標波形的目標波形檢測算法，并通過對輸入波形執行目標波形檢測算法來生成預期檢測目標波形，以及檢測目標波形確定和異常檢測單元，其將預期檢測目標波形與輸入波形進行比較，以確定輸入波形對應于檢測目標波形。

根據一個實施例，除了待被檢測的檢測目標波形外，即使當混合了滿足用于分離檢測目標的條件的波形時，也可以識別檢測目標波形，并且還可以提供能夠檢測檢測目標波形異常的異常檢測系統和異常檢測程序。

附圖說明

圖1是圖示根據第一實施例的異常檢測系統的示例框圖。

圖2是圖示根據第一實施例的異常檢測系統中的檢測目標波形生成單元的處理的示例流程圖。

圖3是圖示根據第一實施例的異常檢測系統的檢測目標波形的示例圖。

圖4是圖示根據第一實施例的異常檢測系統的檢測目標波形數據的示例圖。

圖5是圖示根據本實施例的異常檢測系統中的表示自動編碼器配置的感知器的圖，該自動編碼器是檢測目標波形生成單元所使用的深度學習技術中的一種。

圖6是圖示在第一實施例的異常檢測系統中對目標波形檢測算法設定的用于深度學習的學習數據的圖。

圖7是圖示根據第一實施例的異常檢測系統中的檢測目標波形確定/異常檢測單元的處理的示例流程圖。

圖8是圖示在根據第一實施例的異常檢測系統中被輸入到檢測目標波形確定/異常檢測單元的檢測目標波形圖。

圖9是圖示在根據第一實施例的異常檢測系統中被輸入到檢測目標波形確定/異常檢測單元的輸入信號的圖，該輸入信號包括并非檢測目標波形的輸入波形。

圖10是圖示在根據第一實施例的異常檢測系統中的輸入信號的圖，該輸入信號具有一些失真的輸入波形，但與檢測目標波形類似。