[發明專利]一種柔性電容式觸覺傳感器陣列在審
| 申請號： | 202010470652.7 | 申請日： | 2020-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN112067174A | 公開（公告）日： | 2020-12-11 |
| 發明（設計）人： | 劉立濱;許諾;臧金良;汪震海;張斌 | 申請（專利權）人： | 北京機械設備研究所 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京云科知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11483 | 代理人： | 張飆 |
| 地址： | 100854 北京市海淀區永*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柔性 電容 觸覺 傳感器 陣列 | ||
1.一種柔性電容式觸覺傳感器陣列，其特征在于，包括：m行*n列個電容式觸覺傳感器，其中，m和n均為正整數；
所述電容式觸覺傳感器制備在島狀結構上，相鄰兩個電容式觸覺傳感器之間通過橋狀結構連接，所述橋狀結構用于進行金屬導線的加工，形成信號通道；
所述島狀結構不可拉伸，所述橋狀結構可拉伸；
在陣列的每一行和每一列的末端引出引線端子，所述引線端子用于傳感器信息的讀取。
2.根據權利要求1所述的柔性電容式觸覺傳感器陣列，其特征在于，所述電容式觸覺傳感器包括絕緣薄膜層、第一導電層、第二導電層；
所述第一導電層和所述第二導電層分別設置在所述絕緣薄膜層的兩面，所述第一導電層形成第一電極，所述第二導電層形成第二電極；
所述第一導電層和所述第二導電層之間形成固定電容；
所述絕緣薄膜層為柔性材料。
3.根據權利要求2所述的柔性電容式觸覺傳感器陣列，其特征在于，所述第一導電層和所述第二導電層均為半圓形結構。
4.根據權利要求3所述的柔性電容式觸覺傳感器陣列，其特征在于，位于所述陣列的同一行的電容式觸覺傳感器的第一導電層通過所述橋狀結構上的可拉伸導線依次連接，位于所述陣列的同一列的電容式觸覺傳感器的第二導電層通過所述橋狀結構上的可拉伸導線依次連接；
所述第一導電層以及與所述第一導電層連接的可拉伸導線制備在所述絕緣薄膜層的第一面，所述第二導電層以及與所述第二導電層連接的可拉伸導線制備在所述絕緣薄膜層的第二面。
5.根據權利要求4所述的柔性電容式觸覺傳感器陣列，其特征在于，所述絕緣薄膜層的厚度小于100微米。
6.根據權利要求5所述的柔性電容式觸覺傳感器陣列，其特征在于，所述第一導電層和所述第二導電層上分別覆蓋了鈍化保護層。
7.根據權利要求2至6任一所述的柔性電容式觸覺傳感器陣列，其特征在于，所述絕緣薄膜層為PI、PET、PEN中的至少一種塑料材料。
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