[發明專利]一種小口徑高深度零件陽極遮蔽上掛治具

在審

• 申請號: 202010469867.7
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111593392A
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 鄭盼
• 申請（專利權）人: 沈陽富創精密設備有限公司
• 主分類號: C25D11/04
• 分類號: C25D11/04;C25D17/08
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 孫奇

本發明是一種小口徑高深度零件陽極遮蔽上掛治具，包括：第一治具，第二治具，第三治具，第四治具；第一治具腰部為凸起環，先端具有外螺紋，末端具有外螺紋，末端還具有內螺紋孔；第二治具為圓形凹槽結構，凹槽中部為圓孔，周圍具有多個圓孔；第三治具為圓盤結構，圓盤中部設有螺栓，圓盤上具有多個扇形通孔；第四治具為長桿結構，長桿先端設有外螺紋，末端為螺紋桿；第一治具先端外螺紋與零件螺合連接，第二治具套在第一治具凸起環上，兩端與零件抵接；第三治具頂在第二治具底下，第三治具的螺栓與第一治具末端外螺紋連接；第四治具外螺紋與第一治具末端內螺紋孔螺合連接。所有治具均采用鈦合金，可以保證很好的機械強度，質量輕，重復利用率高。

技術領域

本發明涉及半導體表面處理加工領域，尤其針對一種小口徑高深度零件陽極遮蔽上掛治具。

背景技術

鋁合金陽極氧化處理是半導體應用最廣泛的工藝之一，是可控的電化學陽極過程，在鋁表面生成高硬度、耐腐蝕、耐磨損、電絕緣的氧化膜。對于有零件有裸鋁要求的位置需要使用膠帶遮蔽，但是對于小口徑高深度裸鋁工位，膠帶遮蔽無法實現很好的遮蔽效果，因此開發一種新型遮蔽上掛治具，借助治具完成裸鋁位置的硬遮蔽。

發明內容

本發明的目的是提供一種小口徑高深度零件陽極遮蔽上掛治具。

本發明是采用的技術方案是：

一種小口徑高深度零件陽極遮蔽上掛治具，包括：第一治具，第二治具，第三治具，第四治具；第一治具腰部為凸起環，先端具有外螺紋，末端具有外螺紋，末端還具有內螺紋孔；第二治具為圓形凹槽結構，凹槽中部為圓孔，周圍具有多個圓孔；第三治具為圓盤結構，圓盤中部設有螺栓，圓盤上具有多個扇形通孔；第四治具為長桿結構，長桿先端設有外螺紋，末端為螺紋桿；第一治具先端外螺紋與零件螺合連接，第二治具套在第一治具凸起環上，兩端與零件抵接；第三治具頂在第二治具底下，第三治具的螺栓與第一治具末端外螺紋連接；第四治具外螺紋與第一治具末端內螺紋孔螺合連接。

本發明的優點是：實現小口徑高深度裸鋁工位遮蔽，提高遮蔽效果，實現產品的穩定化生產。使用鈦合金可以保證很好的機械強度，質量輕，重復利用率高。

附圖說明

圖1為本發明的組裝截面示意圖；

圖2為本發明第一治具結構圖。

圖3為本發明第二治具正視圖。

圖4為本發明第三治具正視圖。

圖5為本發明實施例中小口徑高深度零件遮蔽上掛治具4

具體實施方式

下面結合說明書附圖1-5及附圖標記對本發明進一步詳細說明。

一種小口徑高深度零件陽極遮蔽上掛治具，包括：第一治具1，第二治具2，第三治具3，第四治具4；第一治具1腰部為凸起環，先端具有外螺紋，末端具有外螺紋，末端還具有內螺紋孔；第二治具2為圓形凹槽結構，凹槽中部為圓孔，周圍具有多個圓孔；第三治具3為圓盤結構，圓盤中部設有螺栓，圓盤上具有多個扇形通孔；第四治具4為長桿結構，長桿先端設有外螺紋，末端為螺紋桿。

第一治具1先端外螺紋與零件螺合連接，第二治具2套在第一治具1凸起環上，兩端與零件抵接；第三治具3頂在第二治具2底下，第三治具3的螺栓與第一治具1末端外螺紋連接；

第四治具4外螺紋與第一治具1末端內螺紋孔螺合連接。

第二治具2中間圓孔的孔徑跟第一治具1外壁間隙配合，與產品裸鋁遮蔽位置固定，降低遮蔽誤差。

第三治具3旋緊在第一治具1，并與第二治具2緊密貼合，加固遮蔽作用。

第二治具2和第三治具3上開有孔洞，方便溶液流動，保證內壁除裸鋁遮蔽位置其余位置陽極均勻。

第四治具4與第一治具1通過螺紋相連，需要高于零件內壁高度，方便陽極上掛。所有治具均采用鈦合金，可以保證很好的機械強度，質量輕，重復利用率高。