[發明專利]陣列基板、顯示面板、顯示裝置及陣列基板的制備方法有效
| 申請號: | 202010469711.9 | 申請日: | 2020-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN111613626B | 公開(公告)日: | 2023-01-10 |
| 發明(設計)人: | 陳建友;陳健;鐘彩嬌;周婷;沈柏平 | 申請(專利權)人: | 廈門天馬微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/12 | 分類號: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
| 地址: | 361101 福建*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 陣列 顯示 面板 顯示裝置 制備 方法 | ||
本發明公開了陣列基板、顯示面板、顯示裝置及陣列基板的制備方法。該陣列基板包括:位于襯底基板上的有源層和位于襯底基板與有源層之間的保護層,有源層在襯底基板的正投影位于保護層在襯底基板的正投影內;保護層包括層疊設置的隔熱層和遮光層。在本發明實施例中,通過在襯底基板和有源層之間設置包括隔熱層和遮光層的保護層,且有源層在襯底基板的正投影位于保護層在襯底基板的正投影內,避免顯示面板因遮光層的導熱性導致有源層激光晶化不完全的現象,實現保護層遮光隔熱效果,提高顯示面板的顯示效果。
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,尤其涉及陣列基板、顯示面板、顯示裝置及陣列基板的制備方法。
背景技術
在車載顯示器中,一般顯示器采用高亮度的背光光源,用于提高車載顯示器的顯示效果,且車載顯示中的顯示面板的陣列基板中包括薄膜晶體管,薄膜晶體管包括頂柵型和底柵型。由于頂柵型的薄膜晶體管具有更好的穩定性、更高的開口率而備受關注。
在車載顯示器中,為了防止外界光線對顯示面板中頂柵型的薄膜晶體管有源層的影響且為了降低車載顯示器的光漏流現象,一般在有源層的正下方設置一定厚度遮光金屬。但是形成有源層膜層時,通常采用高溫沉積和退火,由于遮光金屬層具有良好的導熱性,因此會因為遮光金屬層的存在降低激光晶化制程的溫度,造成激光晶化處理過程中晶化不完全的現象,影響顯示面板的顯示效果。
發明內容
本發明實施例提供一種陣列基板、顯示面板、顯示裝置及陣列基板的制備方法,以避免顯示面板因遮光層的導熱性導致有源層激光晶化不完全的現象,實現保護層遮光隔熱效果,提高顯示面板的顯示效果。
第一方面,本發明實施例提供了一種陣列基板,包括:位于襯底基板上的有源層和位于所述襯底基板與所述有源層之間的保護層,所述有源層在所述襯底基板的正投影位于所述保護層在所述襯底基板的正投影內;
所述保護層包括層疊設置的隔熱層和遮光層。
第二方面,本發明實施例提供一種顯示面板,包括第一方面中任一項所述的薄膜晶體管。
第三方面,本發明實施提供一種顯示裝置,包括第二方面所述的顯示面板。
第四方面,本發明實施例提供一種陣列基板的制備方法,包括:
在襯底基板上形成保護層;所述保護層包括層疊設置的隔熱層和遮光層;
在所述保護層背離所述襯底基板的一側形成有源層;
其中,所述有源層在所述襯底基板的正投影位于所述保護層在所述襯底基板的正投影內
本發明實施例提供的陣列基板、顯示面板、顯示裝置及陣列基板的制備方法,通過在襯底基板和有源層之間設置包括隔熱層和遮光層的保護層,且有源層在襯底基板的正投影位于保護層在襯底基板的正投影內,其中遮光層用于遮擋照射到有源層的光線,避免光照對有源層的影響,隔熱層用于避免熱量被遮光層導出從而影響有源層晶化的過程,通過在襯底基板和有源層之間設置保護層,避免了顯示面板因遮光層的導熱性導致有源層晶化不完全的現象,實現保護層遮光隔熱效果,提高顯示面板的顯示效果。
附圖說明
圖1為本發明實施例提供的一種陣列基板的結構示意圖;
圖2為本發明實施提供的另一種陣列基板的結構示意圖;
圖3為本發明實施提供的又一種陣列基板的結構示意圖;
圖4為圖3提供的陣列基板中多孔結構的光路示意圖;
圖5為本發明實施提供的又一種陣列基板的結構示意圖;
圖6為本發明實施提供的又一種陣列基板的結構示意圖;
圖7為本發明實施提供的一種顯示面板的結構示意圖;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





