[發明專利]Fe70 有效
| 申請號： | 202010469335.3 | 申請日： | 2020-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN111441027B | 公開（公告）日： | 2022-01-11 |
| 發明（設計）人： | 賈延東;馬昕迪;耿川;王剛;易軍;黃波;翟啟杰 | 申請（專利權）人： | 上海大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/16;C22C45/02 |
| 代理公司： | 北京睿智保誠專利代理事務所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 周新楣 |
| 地址： | 200444*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | fe base sub 70 | ||
【權利要求書】：
1.一種Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法，其特征在于：
所述方法包括如下步驟：
將靶材安裝至磁控濺射設備靶頭，所述靶材包含Fe、Nb和B元素；
將實驗襯底粘于所述基板的板面；
調整所述加熱樣品臺的位置使其朝向所述靶頭；
安裝所述基板以使所述襯底朝向所述靶頭；
加熱所述基板使其溫度達到第一預設溫度；
使所述靶材和基板處于預設氣氛狀態；
使所述靶頭通電；
使所述靶材以預設濺射狀態向所述基板進行濺射；
所述靶材選用相同原子比的Fe70Nb10B20合金材料；
所述靶材為圓柱形，其直徑的取值范圍48mm至50mm；
所述靶材的厚度取值范圍為3mm至5mm；
所述實驗襯底為矩形，其長度取值范圍為8mm至12mm，其寬度取值范圍8mm至12mm；
所述實驗襯底包括單晶硅片或玻璃片，單晶硅片為1mm，玻璃片為3mm；
所述第一預設溫度的取值為100攝氏度或200攝氏度；
實驗過程中設備的真空度為4×10-4Pa；
所述預設濺射氣氛為氬氣，濺射氣壓取值范圍為0.5Pa至1.2Pa。
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