[發(fā)明專利]一種晶圓測試系統(tǒng)用信號傳輸抗干擾電路及其抗干擾方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010468340.2
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111735998A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設計）人: 劉飛躍;呂紅林
• 申請（專利權）人: 南京思沃德電子科技有限公司
• 主分類號: G01R1/30
• 分類號: G01R1/30;G01R1/28;G01R31/28;H03F1/26;H02M3/335;H02M1/44
• 代理公司: 南京泰普專利代理事務所(普通合伙) 32360
• 代理人: 竇賢宇

1.一種晶圓測試系統(tǒng)用信號傳輸抗干擾電路，其特征在于，包括以下模塊：

用于都輸入的電源進行過濾調(diào)節(jié)進而保證電源傳輸給穩(wěn)壓模塊穩(wěn)定的供電模塊；

用于將供電模塊提供的電壓進行變壓、穩(wěn)壓處理進而滿足下一級模塊所需工作電壓的穩(wěn)壓模塊；

用于接收晶圓測試信號、控制測試信號的導通提高傳輸響應的信號接收模塊；

用于對信號抗干擾單元進行調(diào)整，達到穩(wěn)定輸出要求的信號調(diào)整模塊；

用于對信號調(diào)整模塊出現(xiàn)的不用信號與噪聲進行分離的濾波模塊。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓測試系統(tǒng)用信號傳輸抗干擾電路，其特征在于，所述供電模塊中電阻R1和電阻R2根據(jù)獲取的輸入電壓，給穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1提供不同的輸入電壓，而電感L1對電源線中特定頻段的頻點以外點的頻段進行過濾；

所述穩(wěn)壓模塊中電容C2用于濾除穩(wěn)壓器U2轉(zhuǎn)換時產(chǎn)生多余干擾頻段，電容C3作為儲能電能用于必須要時給穩(wěn)壓器U2提供電能；

所述信號接收模塊中三極管Q2作無觸點開關控制測試信號的通斷，從而能夠快速做出響應；

所述信號調(diào)整模塊中電容C10和電容C9并聯(lián)增大容量，從而減小阻抗提高信號的導通量；

所述濾波模塊中電容C12與電阻R16并聯(lián)將有用的信號與噪聲分離，進而提高信號的抗干擾性及信噪比，從而提高晶圓測試系統(tǒng)中信號的抗干擾性，提高測試信號的精準。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓測試系統(tǒng)用信號傳輸抗干擾電路，其特征在于，所述信號接收模塊包括：信號抗干擾單元；其中信號抗干擾單元包括二極管D6、三極管Q4、可變電阻RV1、電容C8、電阻R9、三極管Q3、電阻R8、電容C7、電阻R7、電感L3、二極管D5、運算放大器U5、二極管D4、電阻R6、電感L2、電容C6、電容C5，其中所述電容C5正極端與端口IMLT1連接；所述電容C5負極端分別與電感L2一端、電阻R6一端連接；所述電阻R6另一端與二極管D4正極端連接；所述二極管D4負極端分別與二極管D5正極端、電阻R8一端、運算放大器U5引腳6連接；所述電感L2另一端與運算放大器U5引腳3連接；所述運算放大器U5引腳7與端口DC1連接；所述運算放大器U5引腳2與電容C6正極端連接；所述運算放大器U5引腳4分別與電容C6負極端、電感L3一端、電阻R7一端、地線GND連接；所述二極管D5負極端與電感L3另一端連接；所述電阻R7另一端與電容C7正極端連接；所述電容C7負極端與三極管Q3基極端連接；所述三極管Q3集電極端分別與可變電阻RV1引腳1和引腳2、電阻R8另一端、電容C8正極端、電阻R9一端、端口DC1連接；所述電阻R9另一端分別與三極管Q4發(fā)射極端、二極管D5正極端連接；所述三極管Q4集電極端與電容C8負極端連接；所述三極管Q4基極端分別與二極管D6負極端、可變電阻RV1引腳3、端口OMLT1連接；所述三極管Q3發(fā)射極端與地線GND連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓測試系統(tǒng)用信號傳輸抗干擾電路，其特征在于，所述供電模塊包括電阻R1、電阻R2、電容C1、穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1、電阻R3、三極管Q1、電感L1、二極管D1，其中所述電阻R1一端分別與穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1引腳8、電源端口+VCC連接；所述電阻R1另一端分別與穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1引腳4、電阻R2一端連接；所述電阻R2另一端分別與穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1引腳3和引腳2、電容C1一端連接；所述穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1引腳1分別與電容C1另一端、三極管Q1發(fā)射極端、地線GND連接；所述穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1引腳5與電阻R3一端連接；所述三極管Q1基極端連接；所述三極管Q1集電極端分別與電感L1一端、二極管D1正極端連接；所述電感L1另一端與穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1引腳6連接。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓測試系統(tǒng)用信號傳輸抗干擾電路，其特征在于，所述穩(wěn)壓模塊包括變壓器T1、電容C2、穩(wěn)壓器U2、電容C3、電阻R5，其中所述變壓器T1引腳1與二極管D1負極端連接；所述變壓器T1引腳3分別與穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器U1引腳1、電容C1另一端、三極管Q1發(fā)射極端、地線GND連接；所述變壓器T1引腳2分別與電容C2一端、穩(wěn)壓器U2引腳1連接；所述穩(wěn)壓器U2引腳2分別與電容C2另一端、變壓器T1引腳4、電容C3一端、地線GND連接；所述穩(wěn)壓器U2引腳3分別與電容C3一端、端口DC1、電阻R5一端連接。