[發(fā)明專利]MEMS陀螺儀驅(qū)動幅度校正裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010468223.6
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111780735B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒波;劉彬
• 申請（專利權(quán)）人: 深迪半導(dǎo)體（紹興）有限公司
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;G01C25/00;G05D19/02
• 代理公司: 上海劍秋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31382
• 代理人: 楊飛

1.一種MEMS陀螺儀驅(qū)動幅度校正裝置，其特征在于，包括

C/V轉(zhuǎn)換器，所述C/V轉(zhuǎn)換器的輸入端與所述MEMS陀螺儀的驅(qū)動檢測端相連接；

測量模塊，所述測量模塊用于輸出其輸入端電信號的頻率表示信號、幅度表示信號和相位表示信號，所述測量模塊的輸入端與所述C/V轉(zhuǎn)換器的輸出端相連接；

校正模塊，所述校正模塊用于接收所述幅度表示信號和所述頻率表示信號，并根據(jù)所述幅度表示信號和所述頻率表示信號輸出經(jīng)校正的幅度表示信號；所述校正模塊包括校正系數(shù)產(chǎn)生模塊和幅度校正模塊，所述校正系數(shù)產(chǎn)生模塊根據(jù)所述頻率表示信號輸出校正系數(shù)，所述幅度校正模塊根據(jù)所述幅度表示信號和所述校正系數(shù)輸出所述經(jīng)校正的幅度表示信號；所述幅度校正模塊為乘法器；

輸出模塊，所述輸出模塊用于接收所述相位表示信號和所述經(jīng)校正的幅度表示信號，并根據(jù)所述相位表示信號和所述經(jīng)校正的幅度表示信號輸出驅(qū)動信號，所述輸出模塊的輸出端與所述MEMS陀螺儀的驅(qū)動輸入端相連接；并且

所述校正系數(shù)的計算公式為：

其中，R是所述校正系數(shù)，K是與所述MEMS陀螺儀的機(jī)械結(jié)構(gòu)相關(guān)的比例因子，f是所述頻率表示信號所對應(yīng)的頻率，f₀是參考頻率。

2.如權(quán)利要求1所述的MEMS陀螺儀驅(qū)動幅度校正裝置，其特征在于，所述校正模塊還包括校正系數(shù)存儲模塊，所述校正系數(shù)存儲模塊用于存儲所述校正系數(shù)，以及將所述校正系數(shù)提供給所述幅度校正模塊。

3.如權(quán)利要求2所述的MEMS陀螺儀驅(qū)動幅度校正裝置，其特征在于，所述校正系數(shù)產(chǎn)生模塊包括啟用狀態(tài)和停用狀態(tài)，當(dāng)所述校正系數(shù)產(chǎn)生模塊處于停用狀態(tài)時，所述校正系數(shù)存儲模塊向所述幅度校正模塊提供固定的校正系數(shù)。

4.一種MEMS陀螺儀驅(qū)動幅度校正裝置，其特征在于，包括

C/V轉(zhuǎn)換模塊，所述C/V轉(zhuǎn)換模塊的輸入端與所述MEMS陀螺儀的驅(qū)動檢測端和檢測端相連接，并根據(jù)來自所述驅(qū)動檢測端和所述檢測端的信號分別輸出第一輸出信號和第二輸出信號；

測量模塊，所述測量模塊用于接收所述第一輸出信號和所述第二輸出信號，并根據(jù)所述第一輸出信號輸出幅度表示信號和相位表示信號，根據(jù)所述第二輸出信號輸出頻率表示信號；

校正模塊，所述校正模塊用于接收所述幅度表示信號和所述頻率表示信號，并根據(jù)所述幅度表示信號和所述頻率表示信號輸出經(jīng)校正的幅度表示信號；所述校正模塊包括校正系數(shù)產(chǎn)生模塊和幅度校正模塊，所述校正系數(shù)產(chǎn)生模塊根據(jù)所述頻率表示信號輸出校正系數(shù)，所述幅度校正模塊根據(jù)所述幅度表示信號和所述校正系數(shù)輸出所述經(jīng)校正的幅度表示信號；所述幅度校正模塊為乘法器；

輸出模塊，所述輸出模塊用于接收所述相位表示信號和所述經(jīng)校正的幅度表示信號，并根據(jù)所述相位表示信號和所述經(jīng)校正的幅度表示信號輸出驅(qū)動信號，所述輸出模塊的輸出端與所述MEMS陀螺儀的驅(qū)動輸入端相連接；并且

所述校正系數(shù)的計算公式為：

其中，R是所述校正系數(shù)，K是與所述MEMS陀螺儀的機(jī)械結(jié)構(gòu)相關(guān)的比例因子，f是所述頻率表示信號所對應(yīng)的頻率，f₀是參考頻率。

5.如權(quán)利要求4所述的MEMS陀螺儀驅(qū)動幅度校正裝置，其特征在于，所述C/V轉(zhuǎn)換模塊采用一C/V轉(zhuǎn)換器，所述C/V轉(zhuǎn)換器的輸入端與所述驅(qū)動檢測端和所述檢測端相連接，并根據(jù)來自所述驅(qū)動檢測端和所述檢測端的信號通過分時復(fù)用方式分別輸出所述第一輸出信號和所述第二輸出信號；或者

所述C/V轉(zhuǎn)換模塊包括第一C/V轉(zhuǎn)換器和第二C/V轉(zhuǎn)換器，所述第一C/V轉(zhuǎn)換器的輸入端與所述驅(qū)動檢測端相連接，并根據(jù)來自所述驅(qū)動檢測端的信號輸出所述第一輸出信號；所述第二C/V轉(zhuǎn)換器的輸入端與所述檢測端相連接，并根據(jù)來自所述檢測端的信號輸出所述第二輸出信號。

6.如權(quán)利要求4所述的MEMS陀螺儀驅(qū)動幅度校正裝置，其特征在于，所述檢測端包括第一檢測端和第二檢測端，所述第一檢測端連接所述C/V轉(zhuǎn)換模塊，在所述第二檢測端施加激勵信號。