[發明專利]一種升降基座

有效

• 申請號: 202010467981.6
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111485217B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 佘鵬程;龔俊;張雙景
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 徐好

1.一種升降基座，包括基片盤(1)、設于基片盤(1)下方以帶動基片盤(1)升降的升降桿(11)及設于升降桿(11)外周以保證升降桿(11)升降方向的導向套組件(12)，其特征在于：還包括固定座(2)、安裝座(3)及升降座(4)，所述固定座(2)與所述安裝座(3)之間連接有浮動接頭(5)，所述安裝座(3)上設有絲桿(31)及用于帶動絲桿(31)旋轉的驅動組件(32)，所述升降桿(11)與所述升降座(4)固定連接，所述升降座(4)上設有絲桿螺母(41)，所述絲桿(31)與所述絲桿螺母(41)相連。

2.根據權利要求1所述的升降基座，其特征在于：所述安裝座(3)上設有導向襯套(33)，所述升降座(4)上固設有與所述升降桿(11)平行的導向軸(42)，所述導向軸(42)穿設于所述導向襯套(33)中。

3.根據權利要求1所述的升降基座，其特征在于：所述升降桿(11)外周套設有波紋管(6)，所述波紋管(6)一端與所述基片盤(1)固定連接，另一端與所述固定座(2)固定連接，所述導向套組件(12)上設有至少一個波紋管進排氣口(121)。

4.根據權利要求3所述的升降基座，其特征在于：所述導向套組件(12)包括導向套(122)及設于導向套(122)內的直線軸承(123)，所述波紋管進排氣口(121)設于所述導向套(122)上。

5.根據權利要求1所述的升降基座，其特征在于：所述升降座(4)上還設有防護套(43)，所述防護套(43)上端套設于所述導向套組件(12)下端的外周。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的升降基座，其特征在于：所述驅動組件(32)包括電機(321)、設于電機(321)輸出軸上的主動帶輪(322)、設于絲桿(31)上的從動帶輪(323)、以及繞設于主動帶輪(322)和從動帶輪(323)上的同步帶(324)，所述電機(321)設于所述安裝座(3)上。

7.根據權利要求6所述的升降基座，其特征在于：所述安裝座(3)包括電機安裝塊(34)和絲桿安裝塊(35)，所述電機安裝塊(34)上設有凹槽(341)及與凹槽(341)平行布置的長孔(342)，所述絲桿安裝塊(35)上設有凸條(351)并定位于所述凹槽(341)中，所述長孔(342)中設有用于固定電機安裝塊(34)和絲桿安裝塊(35)的緊固件。

8.根據權利要求1至5中任一項所述的升降基座，其特征在于：所述升降座(4)上設有上限位傳感器(44)和下限位傳感器(45)，所述固定座(2)上設有與所述上限位傳感器(44)和下限位傳感器(45)配合的限位擋片(21)。