[發(fā)明專利]異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的平滑修飾液及其制備方法與平滑修飾方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010467121.2
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111430479A
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉超;李正平;楊杰;任棟樑;陳昌明;徐小娜
• 申請（專利權(quán)）人: 熵熠(上海)能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;H01L31/072;H01L31/18
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 徐俊

1.一種異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的平滑修飾液，其特征在于，所述的平滑修飾液由臭氧、氟化氫以及水組成。

2.如權(quán)利要求1所述的異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的平滑修飾液，其特征在于，所述的臭氧的濃度為10～30mg/L，所述氟化氫的濃度為0.4～1wt％，所述水為去離子水。

3.如權(quán)利要求1所述的異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的平滑修飾液，其特征在于，所述平滑修飾液由臭氧水與氫氟酸按照體積比50～100:1配置而成。

4.權(quán)利要求1～3任一項所述的用于異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的金字塔絨面的平滑修飾液的制備方法，其特征在于，將電解臭氧水與氫氟酸混合，即得平滑修飾液。

5.如權(quán)利要求4所述的用于異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的金字塔絨面的平滑修飾液的制備方法，其特征在于，所述電解臭氧水中臭氧的濃度為10～30mg/L；所述氟化氫的濃度為0.4～1wt％，所述臭氧水與氫氟酸按照體積比為50～100:1。

6.一種異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的平滑修飾方法，其特征在于，所述平滑修飾方法包括如下步驟：將具有金字塔絨面的異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片置于權(quán)利要求1～3任一項所述的平滑修飾液中浸泡。

7.如權(quán)利要求6所述的異質(zhì)結(jié)太陽能電池硅片的平滑修飾方法，其特征在于，浸泡溫度為15～25℃，浸泡時間為300～600s。