[發明專利]曝光機

在審

• 申請號: 202010466255.2
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111538216A
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 袁夏梁
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 楊艇要

本申請提供一種曝光機，包括光罩載臺和驅動裝置，光罩載臺包括承載面，承載面上設有固定裝置，承載面用于承載光罩，固定裝置用于固定光罩載臺上承載的光罩；光罩載臺內部形成一個露光區域，以使光線透過光罩從露光區域照射到曝光件；驅動裝置與光罩載臺連接，驅動裝置可移動光罩載臺、或改變光罩載臺的結構，以實現調整露光區域的大小。本申請實施例通過移動光罩載臺或者改變光罩載臺的結構、以調整露光區域的范圍，從而使曝光機可以兼容不同尺寸的光罩，提高了曝光機的適用范圍。

技術領域

本申請涉及曝光顯影設備技術領域，具體涉及一種曝光機。

背景技術

在薄膜晶體管液晶顯示器和有機發光半導體顯示器的制備過程中，需要通過曝光顯影技術將光罩上的圖形轉移到玻璃基板的圖層上，在制備不同尺寸的顯示面板時需要用到不同尺寸的光罩，然而現有的曝光機只能使用對應尺寸的光罩，如果更換不同尺寸的光罩，原有的曝光機將無法使用，曝光機的適用范圍受到了限制。

發明內容

本申請提供一種曝光機，可通過移動光罩載臺或者改變光罩載臺的結構、以調整露光區域的范圍，從而使曝光機可以兼容不同尺寸的光罩，提高了曝光機的適用范圍。

本申請提供一種曝光機，包括光罩載臺和驅動裝置；

所述光罩載臺包括承載面，所述承載面上設有固定裝置，所述承載面用于承載光罩，所述固定裝置用于固定所述光罩載臺上承載的光罩；

所述光罩載臺內部形成一個露光區域，以使光線透過光罩從露光區域照射到曝光件；

所述驅動裝置與所述光罩載臺連接，所述驅動裝置可移動所述光罩載臺、或改變所述光罩載臺的結構，以實現調整所述露光區域的大小。

在一些實施方案中，所述光罩載臺為一個整體結構，所述光罩載臺上設有橫梁，所述橫梁與所述光罩載臺滑動連接，所述橫梁在所述驅動裝置的驅動下移動，所述橫梁上可活動地設有承載部，所述驅動裝置可調整所述承載部和所述承載面的位置，所述承載部和所述承載面用于承載光罩。

在一些實施方案中，所述橫梁位于所述光罩載臺的底端，所述承載部可在所述驅動裝置的驅動下抬升。

在一些實施方案中，所述光罩載臺為一個整體結構，所述光罩載臺的正投影為矩形，所述光罩載臺的一個側邊鉸接地設有卷軸桿，所述卷軸桿位于所述光罩載臺頂端，所述卷軸桿上固定地連接有卷軸，所述驅動裝置連接所述卷軸桿和卷軸、以驅動所述卷軸折疊或展開，所述卷軸在被展開后形成附加承載面，所述驅動裝置可驅動所述承載面升高，所述承載面和所述附加承載面用于承載光罩。

在一些實施方案中，所述光罩載臺包括多個互相獨立的載臺，所述多個獨立載臺形成所述露光區域，所述多個獨立載臺可在所述驅動裝置的驅動下移動，以調整所述露光區域的范圍。

在一些實施方案中，所述光罩載臺包括第一載臺和第二載臺，所述第一載臺和所述第二載臺的正投影為長條形，所述第一載臺和所述第二載臺平行設置，所述驅動裝置可驅動所述第一平臺沿第一方向移動，所述第一方向與所述第一載臺的延伸方向呈夾角；和/或，

所述驅動裝置可驅動所述第二平臺移動沿所述第一方向移動。

在一些實施方案中，所述光罩載臺包括第一載臺和第二載臺，所述第一載臺和所述第二載臺的正投影為L形，所述第一載臺和所述第二載臺能構成一個矩形結構，所述驅動裝置可驅動所述第一載臺移動、以靠近或遠離所述第二載臺；和/或，

所述驅動裝置可驅動所述第二載臺移動、以靠近或遠離所述第一載臺。

在一些實施方案中，所述光罩載臺包括：

沿第一方向設置、互相平行的第一行獨立載臺和第二行獨立載臺；

沿第二方向設置、互相平行的第一列獨立載臺和第二列獨立載臺；