[發明專利]一種基于單峰深紫外LED的多輸出峰LED器件及其制作方法

有效

• 申請號: 202010465522.4
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111370394B
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 葛鵬;劉芳;孫雷蒙;楊丹
• 申請（專利權）人: 華引芯（武漢）科技有限公司
• 主分類號: H01L25/075
• 分類號: H01L25/075;H01L33/48;H01L33/62;H01L33/64
• 代理公司: 杭州宇信知識產權代理事務所(普通合伙) 33231
• 代理人: 張宇娟

1.一種基于單峰深紫外LED的多輸出峰LED器件，其特征在于，所述多輸出峰LED器件包括：

發光元件，其用于發出深紫外光；

支架，其用于容置所述發光元件；

外延發光件，所述外延發光件包括襯底和依次層疊在所述襯底上的外延層，且位于所述深紫外光照射的范圍內，通過所述深紫外光激發所述外延發光件發出可見光；

所述支架包括基板和圍壩，所述圍壩為垂直于所述基板設置的環形結構，所述基板和所述圍壩形成用于容置所述發光元件的凹槽，所述襯底為深紫外光可透射的材料，所述外延發光件以所述外延層與所述基板相對的方式配置在所述基板上；

所述基板包括水平間隔設置的第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極之間具有第一絕緣溝槽，所述外延發光件被設置于所述第一絕緣溝槽內。

2.根據權利要求1所述的多輸出峰LED器件，其特征在于，所述襯底為藍寶石襯底。

3.根據權利要求1或2所述的多輸出峰LED器件，其特征在于，所述外延發光件被配置在所述圍壩上，所述外延發光件以所述外延層與所述圍壩相接觸的方式配置在所述圍壩上。

4.根據權利要求3所述的多輸出峰LED器件，其特征在于，所述圍壩和所述第一電極之間、所述圍壩和第二電極之間均具有第二絕緣溝槽，所述外延發光件被設置于所述第二絕緣溝槽內。

5.根據權利要求1所述的多輸出峰LED器件，其特征在于，外延發光件的高度與所述第一絕緣溝槽的高度相同。

6.一種基于單峰深紫外LED的多輸出峰LED器件的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一外延發光件，所述外延發光件包括襯底和依次層疊在所述襯底上的外延層，通過深紫外光激發所述外延發光件發出可見光；

將所述外延發光件焊接在支架上的第一位置，所述第一位置位于所述深紫外光照射的范圍內，所述支架包括基板和圍壩，所述圍壩為垂直于所述基板設置的環形結構，所述基板和所述圍壩形成用于容置發光元件的凹槽，所述襯底為深紫外光可透射的材料，所述外延發光件以所述外延層與所述基板相對的方式配置在所述基板上；所述基板包括水平間隔設置的第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極之間具有第一絕緣溝槽，所述第一位置為所述第一絕緣溝槽內；

將所述發光元件固定在支架，所述發光元件用于發出深紫外光。

7.根據權利要求6所述的制作方法，其特征在于，將所述外延發光件焊接在所述支架上的第一位置，包括：

提供一基板；

將所述外延發光件固定在所述基板上的所述第一位置；

在所述基板放置所述外延發光件的一面濺射銅層；

減薄所述銅層厚度，以露出所述外延發光件。

8.根據權利要求7所述的制作方法，其特征在于，將所述外延發光件固定在所述基板上的所述第一位置，包括：

在所述基板旋涂光刻膠；

曝光、顯影去除所述第一位置的光刻膠；

將所述外延發光件放置于所述基板上的所述第一位置。