[發明專利]集成電路測試方法與系統

有效

• 申請號: 202010464875.2
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN111751702B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 宋衛權;張健
• 申請（專利權）人: 杭州芯訊科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;楊思雨

1.一種集成電路測試方法，包括：

采用測試配置測試多個集成電路以獲得測試數據；以及

根據所述測試數據獲得所述多個集成電路的測試結果，

其中，在所述測試步驟中，根據所述測試數據相關的變更條件實時變更所述測試配置，所述測試配置規定至少一個測試項、以及與所述至少一個測試項對應的測試激勵和測試規范，根據所述測試數據相關的變更條件實時變更所述測試配置的方式包括根據采用變更前的所述測試配置測試集成電路獲得的測試數據，分析所述至少一個測試項對應的輸出響應分布以及所述至少一個測試規范中的相關參數的中心值波動；根據所述中心值波動，預估調整所述至少一個測試規范后所述相關參數的上限值和下限值；以及根據所述輸出響應分布，預估采用變更后的測試配置測試的集成電路的失效率的增量。

2.根據權利要求1所述的集成電路測試方法，

其中，所述變更條件包括同時滿足的以下條件：

已測試的集成電路的數量大于等于第一閾值；以及

已測試的集成電路的失效率小于第二閾值。

3.根據權利要求2所述的集成電路測試方法，其中，實時變更所述測試配置包括：

從所述測試配置中刪除所述至少一個測試項中的測試項，或者刪除所述至少一個測試項的測試激勵。

4.根據權利要求1所述的集成電路測試方法，其中，所述變更條件包括同時滿足的以下條件：

已測試的集成電路的數量大于等于第三閾值；以及

已測試的集成電路的失效率大于等于第四閾值。

5.根據權利要求4所述的集成電路測試方法，其中，實時變更所述測試配置包括：

為所述測試配置增加測試項，或者為所述至少一個測試項增加測試激勵。

6.根據權利要求2或4所述的集成電路測試方法，其中，所述變更條件還包括滿足以下條件：

所述多個集成電路屬于新生產批次。

7.根據權利要求1所述的集成電路測試方法，其中，所述變更條件包括滿足以下條件：

預估的采用變更后的所述測試配置測試的集成電路的失效率的增量小于第五閾值。

8.根據權利要求7所述的集成電路測試方法，其中，實時變更所述測試配置包括：實時調整所述測試規范中相關參數的上限值和下限值。

9.根據權利要求7所述的集成電路測試方法，其中，所述變更條件還包括滿足以下條件：

所述多個集成電路屬于多個生產批次或同一個生產批次。

10.根據權利要求7至9中任一項所述的集成電路測試方法，其中，

重復所述測試步驟一定次數，在每一次的所述測試步驟中，根據之前所述測試步驟中獲得的所述測試數據相關的變更條件實時變更所述測試配置。

11.根據權利要求1所述的集成電路測試方法，其中，所述采用測試配置測試多個集成電路以獲得測試數據包括：

按照一定測試比例，采用多個測試配置測試測試周期內的多個集成電路以獲得測試數據；

所述根據所述測試數據獲得所述多個集成電路的測試結果包括：

根據所述測試數據獲得所述測試周期內所述多個集成電路的測試結果。

12.根據權利要求11所述的集成電路測試方法，其中，所述變更條件包括滿足以下條件：

判定采用第一測試覆蓋率對應的測試配置測試的集成電路的失效率小于第六閾值；

實時變更所述測試配置包括：

減少所述第一測試覆蓋率對應的測試配置測試所述測試周期內的所述多個集成電路的電路數量。