[發(fā)明專利]一種基于泡沫金屬襯底的五元鈦合金吸氣劑在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010464106.2 | 申請(qǐng)日： | 2020-05-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111705318A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-09-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王潔;王盛;張靜;高勇;胡耀程;許章煉;吳岳;周浩宇;范佳錕;游志明;王斌;聶昆侖;羅昊;杜鑫 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C23C30/00 | 分類號(hào)： | C23C30/00;C22C30/00 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710049 *** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 泡沫 金屬 襯底 鈦合金 吸氣 | ||
1.一種基于泡沫金屬襯底的五元鈦合金吸氣劑，其特征在于，包括泡沫金屬襯底以及設(shè)置于泡沫金屬襯底的吸氣劑層，其中，吸氣劑層為TiZrVHfY薄膜層或者TiZrVHfTa薄膜層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于泡沫金屬襯底的五元鈦合金吸氣劑，其特征在于，在真空狀態(tài)下，吸氣劑層在100℃的高溫下持續(xù)加熱2小時(shí)以上，吸氣劑層表面的金屬氧化物逐漸轉(zhuǎn)化為金屬態(tài)，實(shí)現(xiàn)吸氣劑層的逐步激活，被激活的吸氣劑層能夠吸附真空室內(nèi)的殘余氣體，提高真空室內(nèi)的真空度，維持真空室內(nèi)的超高真空狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于泡沫金屬襯底的五元鈦合金吸氣劑，其特征在于，吸氣劑層中各元素的原子數(shù)之比在8-30％之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于泡沫金屬襯底的五元鈦合金吸氣劑，其特征在于，吸氣劑層鍍于泡沫金屬襯底上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于泡沫金屬襯底的五元鈦合金吸氣劑，其特征在于，吸氣劑層表面的二次電子產(chǎn)額低于1.1。
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